[發(fā)明專利]一種碳/碳復(fù)合材料的快速低成本CVD致密方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810066833.6 | 申請(qǐng)日: | 2018-01-24 |
| 公開(公告)號(hào): | CN108220913B | 公開(公告)日: | 2020-01-14 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 羅昆鵬;姜召陽(yáng);陳小飛;曹磊;張貴歧;高曉佳;王春梅;于洪剛;崔樹永 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 航天睿特碳材料有限公司 |
| 主分類號(hào): | C23C16/26 | 分類號(hào): | C23C16/26;C23C16/46;C23C16/455 |
| 代理公司: | 11212 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人: | 談杰 |
| 地址: | 253700 山東省德州市慶云紅*** | 國(guó)省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 碳/碳復(fù)合材料 致密 預(yù)制體 碳源氣體 低成本 內(nèi)芯模 沉積 高溫預(yù)處理 氣體利用率 一次性制備 產(chǎn)品效果 沉積效率 工藝生產(chǎn) 工藝優(yōu)勢(shì) 密度狀態(tài) 生產(chǎn)能耗 石墨電極 石墨內(nèi)芯 優(yōu)勢(shì)特點(diǎn) 有效預(yù)防 質(zhì)量一致 不均勻 沉積室 熱解碳 溫差法 自發(fā)熱 結(jié)殼 氣法 脫模 加熱 預(yù)制 裝配 體內(nèi) 擴(kuò)散 | ||
本發(fā)明公開了一種碳/碳復(fù)合材料的快速低成本CVD致密方法,將預(yù)制體與內(nèi)芯模裝配在一起,進(jìn)行高溫預(yù)處理,處理后將預(yù)制體與內(nèi)芯模置于CVD設(shè)備沉積室的上下石墨電極之間,加熱并通入碳源氣體,經(jīng)過40~200h,即可一次性制備碳/碳復(fù)合材料產(chǎn)品。本發(fā)明方法有如下優(yōu)勢(shì)特點(diǎn):1.集溫差法、限氣法以及自發(fā)熱特點(diǎn)的沉積工藝優(yōu)勢(shì)一體,不僅有效預(yù)防表層熱解碳結(jié)殼對(duì)沉積致密的影響,增強(qiáng)碳源氣體向預(yù)制體內(nèi)擴(kuò)散的能力,可大幅度提升沉積效率;2.避免增密不均勻問題的出現(xiàn),產(chǎn)品質(zhì)量一致;3.生產(chǎn)能耗低,有較低的工藝生產(chǎn)成本;4.氣流的控制程度高,氣體利用率高;5.預(yù)制體與石墨內(nèi)芯模的脫模容易,操作性好;6.可精確控制產(chǎn)品密度狀態(tài),獲得準(zhǔn)確的產(chǎn)品效果。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于碳/碳復(fù)合材料的生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,具體的說涉及一種碳/碳復(fù)合材料的快速低成本CVD致密方法。
背景技術(shù)
碳/碳復(fù)合材料生產(chǎn)的核心過程為其致密化的過程,即通過物理的或化學(xué)的方式在碳纖維預(yù)制體的空隙中填充基體碳而實(shí)現(xiàn)增密的過程,化學(xué)氣相沉積Chemical VaporDeposition (CVD)是應(yīng)用廣泛的致密方法,傳統(tǒng)工藝對(duì)設(shè)備要求低,工藝成熟,具有規(guī)模化的優(yōu)勢(shì),但其生產(chǎn)效率不高,生產(chǎn)成本高等缺點(diǎn)制約該工藝的發(fā)展。
專利號(hào)為CN201010153124公開了一種碳/碳材料構(gòu)件的快速沉方法,通過內(nèi)貼面加熱及溫度差法特點(diǎn)實(shí)現(xiàn)CVD的快速致密方法,極大的提高了CVD致密速率。該法利用石墨內(nèi)芯模作為加熱器,可以貼壁加熱,但由于內(nèi)芯模電阻不均易產(chǎn)生加熱器發(fā)熱不均,導(dǎo)致加熱器局部存有溫差,如芯模與電極接觸部位,芯模與芯模接觸部位等,該部位的現(xiàn)象影響了產(chǎn)品的增密一致性,導(dǎo)致產(chǎn)品密度均勻程度差;同時(shí)該法產(chǎn)品外表面未有保溫層,雖實(shí)現(xiàn)了較大的溫度梯度防止外表層結(jié)殼利于沉積效率,但也因此加大了生產(chǎn)的能耗,造成該工藝成本上的劣勢(shì)。
因此,為加快該快速致密工藝的推廣應(yīng)用,需要從沉積產(chǎn)品質(zhì)量(密度均勻性)以及節(jié)能降耗降低成本上尋找新的工藝途徑。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種碳/碳復(fù)合材料的快速低成本CVD致密方法,不僅擁有高效快速的CVD致密效率,同時(shí)解決了原快速工藝的產(chǎn)品質(zhì)量一致性差以及能耗偏高的問題;該法集結(jié)限氣法、溫差法及自發(fā)熱等沉積工藝的優(yōu)勢(shì),大幅度提高產(chǎn)品的致密效率,并且利用本發(fā)明制備出的碳/碳復(fù)合材料產(chǎn)品質(zhì)量一致性好,產(chǎn)品生產(chǎn)成本大幅下降。
為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用下述技術(shù)方案:
一種碳/碳復(fù)合材料的快速低成本CVD致密方法,包括以下步驟:
(1)根據(jù)預(yù)制體內(nèi)表面尺寸設(shè)計(jì)內(nèi)芯模,內(nèi)芯模外徑較預(yù)制體內(nèi)徑小3~6mm;
(2)將預(yù)制體與內(nèi)芯模裝配在一起,內(nèi)芯模與預(yù)制體之間使用石墨紙間隔,共同進(jìn)行高溫預(yù)處理,預(yù)處理溫度為2000℃~2500℃,保溫4~8h;
(3)將高溫處理后預(yù)制體與內(nèi)芯模置于CVD設(shè)備沉積室的下石墨電極上;
(4)在預(yù)制體外套設(shè)限氣薄壁石墨筒,限氣薄壁石墨筒外壁纏繞軟氈保溫層;
(5)布置熱電偶,熱電偶穿過軟氈保溫層及限氣薄壁石墨筒,所述熱電偶測(cè)溫頭置于預(yù)制體外表面;
(6)在預(yù)制體與內(nèi)芯模頂部放置上石墨電極,內(nèi)芯模及預(yù)制體將上下石墨電極連接,形成電流回路;
(7)設(shè)備通電開始升溫至700℃后,通入碳源氣體,以1℃~10℃/h的升溫速率至1200℃,氣體流量為2.0~4.0m3/h爐膛內(nèi)持續(xù)維持正壓4000~6000Pa,沉積40~200h,即可一次性制備體積密度1.3~1.7g/cm3以上的碳/碳復(fù)合材料產(chǎn)品。
作為優(yōu)化的,所述預(yù)制體為碳纖維編制成型或纏繞成型的圓筒狀結(jié)構(gòu),預(yù)制體密度為0.1~0.65g/cm3。
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆,例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時(shí)基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無(wú)機(jī)材料為特征的





