[發(fā)明專利]一種含氟混合氣的制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810050583.7
• 申請(qǐng)日: 2018-01-18
• 公開（公告）號(hào): CN108193221B
• 公開（公告）日: 2020-01-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 韓保國(guó);閻曉冬;崔武孝;楊茂永;李政孝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 洛陽(yáng)森藍(lán)化工材料科技有限公司
• 主分類號(hào): C25B1/24
• 分類號(hào): C25B1/24;C25B1/02;C25B9/00
• 代理公司: 11019 北京中原華和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種含氟混合氣的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

1）在直流電的作用下，電解槽內(nèi)的氟化氫在70~120℃的溫度下電解生成氟氣和氫氣；

2）氟氣經(jīng)過過濾器進(jìn)行過濾，除去其中夾帶的電解質(zhì)顆粒；

3）過濾后的氟氣依次經(jīng)過一級(jí)冷凝和二級(jí)冷凝，經(jīng)過兩級(jí)液化冷凝后，其中夾帶的氟化氫和其它雜質(zhì)液化后從氟氣中脫離；

4）冷凝后的氟氣進(jìn)入純化塔，殘余的氟化氫與內(nèi)部氟化鹽顆粒進(jìn)行化學(xué)吸附，氟氣得到進(jìn)一步的提純，顆粒直徑為φ2~100mm；

5）DCS或PLC控制系統(tǒng)收集電解電流信號(hào)，選擇需要配置的混合氣濃度，該混合氣濃度為1.0~99.9%，然后根據(jù)電解電流和混合氣濃度推算出需要的惰性氣體流量，通過自動(dòng)化控制惰性氣體閥門開度，使惰性氣體定量進(jìn)入純化后的氟氣管道中；

6）氟氣與惰性氣體混合后，經(jīng)由混合器進(jìn)行充分的混配；

7）混配完成后的氣體，經(jīng)過壓縮機(jī)進(jìn)行加壓，儲(chǔ)存到氟氣混合氣儲(chǔ)罐中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氟混合氣的制備方法，其特征在于，其中步驟1）所述的溫度為80~95℃。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氟混合氣的制備方法，其特征在于，其中步驟2）所述的過濾器的通徑為5~10μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氟混合氣的制備方法，其特征在于，其中步驟3）所述的一級(jí)冷凝的溫度為-75~-100℃，二級(jí)冷凝的溫度為-130~-150℃。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的含氟混合氣的制備方法，其特征在于，其中所述一級(jí)冷凝的溫度為-80℃，二級(jí)冷凝的溫度為-140℃。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氟混合氣的制備方法，其特征在于，其中步驟4）所述的氟化鹽為氟化鈉、氟化鉀、氟化鈣、氟化鎂中一種或幾種的混合物。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氟混合氣的制備方法，其特征在于，其中步驟4）所述的氟化鹽顆粒呈球狀、柱狀、橄欖狀或無定型狀。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氟混合氣的制備方法，其特征在于，其中步驟5）中所述惰性氣體為氮?dú)狻鍤狻⒑庵幸环N或幾種混合物。