[發(fā)明專利]可變速比隧道式濺射鍍膜機

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• 申請日: 2018-01-18
• 公開（公告）號: CN108359943A
• 公開（公告）日: 2018-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李可峰;許仁;符東浩;虞文韜;王偉
• 申請（專利權(quán)）人: 維達力實業(yè)（深圳）有限公司;萬津科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/50
• 代理公司: 廣州華進聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 鄭彤

本發(fā)明公開了一種可變速比隧道式濺射鍍膜機。該可變速比隧道式濺射鍍膜機包括鍍膜筒、射頻離子源、鍍膜掛架以及掛架驅(qū)動部件，鍍膜筒包括內(nèi)筒以及外筒，內(nèi)筒以及外筒之間具有間隔且該間隔形成鍍膜腔，內(nèi)筒的兩端以及外筒的兩端對應(yīng)封閉連接使得鍍膜腔呈封閉狀，外筒的朝向鍍膜腔的內(nèi)壁上或者內(nèi)筒朝向鍍膜腔的內(nèi)壁上設(shè)有多個鍍膜靶槽，射頻離子源連接在外筒的朝向鍍膜腔的內(nèi)壁上或者內(nèi)筒朝向鍍膜腔的內(nèi)壁上，鍍膜掛架呈環(huán)狀，鍍膜掛架位于鍍膜腔內(nèi)且鍍膜掛架套設(shè)于內(nèi)筒，鍍膜掛架上連接有多個掛桿，多個掛桿平行且呈環(huán)狀排列，掛架驅(qū)動部件連接于鍍膜掛架以用于驅(qū)動鍍膜掛架轉(zhuǎn)動。該可變速比隧道式濺射鍍膜機能夠有效提升產(chǎn)能以及效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種可變速比隧道式濺射鍍膜機。

背景技術(shù)

在鍍膜領(lǐng)域，目前使用的度鍍膜機的線長較長、占用空間大，成本較高并且存在小腔室掛量少、產(chǎn)能低、抽空時間長、加熱時間長以及產(chǎn)能提升幅度有限的問題，甚至存在不同種類靶材間交叉污染的問題。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，有必要提供一種能夠有效提升產(chǎn)能以及效率的可變速比隧道式濺射鍍膜機。

一種可變速比隧道式濺射鍍膜機，包括鍍膜筒、射頻離子源、鍍膜掛架、掛架驅(qū)動部件以及自轉(zhuǎn)驅(qū)動部件，所述鍍膜筒包括內(nèi)筒以及外筒，所述內(nèi)筒以及所述外筒之間具有間隔且該間隔形成鍍膜腔，所述鍍膜腔的兩端封閉，所述外筒朝向所述鍍膜腔的內(nèi)壁上或者所述內(nèi)筒朝向所述鍍膜腔的外壁上設(shè)有多個鍍膜靶槽，所述射頻離子源連接在所述外筒朝向所述鍍膜腔的內(nèi)壁上或者所述內(nèi)筒朝向所述鍍膜腔的外壁上，所述鍍膜掛架呈環(huán)狀，所述鍍膜掛架位于所述鍍膜腔內(nèi)且所述鍍膜掛架套設(shè)于所述內(nèi)筒，所述鍍膜掛架上連接有多個用于供待鍍基材放置的掛桿，多個所述掛桿平行且呈環(huán)狀排列，所述掛架驅(qū)動部件連接于所述鍍膜掛架以用于驅(qū)動所述鍍膜掛架轉(zhuǎn)動，所述自轉(zhuǎn)驅(qū)動部件的數(shù)量與所述掛桿的數(shù)量一致，各個所述自轉(zhuǎn)驅(qū)動部件均連接在所述鍍膜掛架上，各個所述自轉(zhuǎn)驅(qū)動部件上分別連接有一個所述掛桿，所述自轉(zhuǎn)驅(qū)動部件用于驅(qū)動所述掛桿相對于所述鍍膜掛架轉(zhuǎn)動。

在其中一個實施例中，還包括靶槽擋板，所述靶槽擋板的數(shù)量與所述鍍膜靶槽的數(shù)量一致，多個所述靶槽擋板與多個所述鍍膜靶槽一一對應(yīng)，所述靶槽擋板連接在所述外筒的朝向所述鍍膜腔的內(nèi)壁上或者所述內(nèi)筒朝向所述鍍膜腔的外壁上，所述鍍膜擋板用于打開或者關(guān)閉所述鍍膜靶槽。

在其中一個實施例中，所述外筒朝向所述鍍膜腔的內(nèi)壁上設(shè)有多個鍍膜靶槽，所述射頻離子源連接在所述內(nèi)筒朝向所述鍍膜腔的外壁上；或者，所述內(nèi)筒朝向所述鍍膜腔的外壁上設(shè)有多個鍍膜靶槽，所述射頻離子源連接在所述外筒朝向所述鍍膜腔的內(nèi)壁上。

在其中一個實施例中，所述射頻離子源的數(shù)量為多個。

在其中一個實施例中，所述內(nèi)筒呈圓柱狀，所述外筒呈圓柱狀，所述鍍膜掛架呈圓環(huán)狀，所述內(nèi)筒、所述外筒以及所述鍍膜掛架共軸。

在其中一個實施例中，還包括第一鍍膜遮擋件，所述第一鍍膜遮擋件呈筒形，所述第一鍍膜遮擋件位于所述鍍膜掛架以及所述內(nèi)筒之間，所述第一鍍膜遮擋件套設(shè)于所述內(nèi)筒，所述第一鍍膜遮擋件連接于所述掛架驅(qū)動部件，所述第一鍍膜遮擋件與所述鍍膜掛架相對靜止，所述第一鍍膜遮擋件的側(cè)壁上具有多個第一鍍膜通孔，多個所述第一鍍膜通孔與多個所述掛桿一一對應(yīng)。

在其中一個實施例中，還包括第二鍍膜遮擋件，所述第二鍍膜遮擋件呈筒形，所述第二鍍膜遮擋件位于所述鍍膜掛架以及所述外筒之間，所述第二鍍膜遮擋件套設(shè)于所述鍍膜掛架，所述第二鍍膜遮擋件連接于所述掛架驅(qū)動部件，所述第二鍍膜遮擋件與所述鍍膜掛架能夠同步運動，所述第二鍍膜遮擋件的側(cè)壁上具有多個第二鍍膜通孔，多個所述第二鍍膜通孔與多個所述掛桿一一對應(yīng)。

在其中一個實施例中，還包括預(yù)進料室，所述外筒的側(cè)壁具有進料口，所述預(yù)進料室位于所述外筒的外部且連接于所述外筒，所述預(yù)進料室通過所述進料口連通于所述鍍膜腔。