[發明專利]真空鍍膜腔內無線無源溫度測量裝置及測量方法在審
| 申請號： | 201810043892.1 | 申請日： | 2018-01-17 |
| 公開（公告）號： | CN108051111A | 公開（公告）日： | 2018-05-18 |
| 發明（設計）人： | 陶翔;金浩;王德苗;李東濱;秦正春;馮斌 | 申請（專利權）人： | 浙江大學昆山創新中心 |
| 主分類號： | G01K11/22 | 分類號： | G01K11/22 |
| 代理公司： | 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215347 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 真空鍍膜 無線 無源 溫度 測量 裝置 測量方法 | ||
1.一種真空鍍膜腔內無線無源溫度測量裝置，其特征在于：包括置于真空室（6）外的射頻讀取器（5）、與射頻讀取器（5）通過接線盤連接的置于真空室（6）內的傳輸天線（4）和與傳輸天線（6）無線連接的置于真空室（6）內的傳感器單元（2）。
2.根據權利要求1所述真空鍍膜腔內無線無源溫度測量裝置，其特征在于：所述置于真空室（6）外的射頻讀取器（5）與置于真空室（6）內的傳輸天線（4）通過接線盤連接。
3.根據權利要求1所述的真空鍍膜腔內無線無源溫度測量裝置，其特征在于：所述傳輸天（4）線可采用偶極子、單極子、螺旋、貼片等結構中的一種。
4.根據權利要求1所述的真空鍍膜腔內無線無源溫度測量裝置，其特征在于：所述傳感器單元（2）貼裝在所需鍍膜材料表面、靶的側面、或其他需要測量溫度的真空室（6）內器件表面上。
5.根據權利要求1所述的真空鍍膜腔內無線無源溫度測量裝置，其特征在于：所述傳感器單元（2）在被測器件表面設置至少一個，且各個傳感器單元通過工作頻段區分。
6.根據權利要求1所述的真空鍍膜腔內無線無源溫度測量裝置，其特征在于：所述傳感器單元（2）集成了聲表面波器件和天線，且所述聲表面波器件采用二氧化硅、環氧樹脂絕緣材料封裝。
7.根據權利要求6所述的真空鍍膜腔內無線無源溫度測量裝置，其特征在于：所述聲表面波器件的襯底材料為鈮酸鋰、硅酸鎵鑭、氮化鋁、石英壓電材料中的一種。
8.根據權利要求6所述的真空鍍膜腔內無線無源溫度測量裝置，其特征在于：所述聲表面波器件的電極材料為鉑、銠、鉬、銅、銀、鋁導電材料中的一種。
9.一種真空鍍膜腔內無線無源溫度測量裝置的測量方法，其特征在于，包括如下步驟：
a）射頻讀取器（5）通過傳輸天線（4）發射一段射頻脈沖給傳感器單元（2）；
b）傳感器單元（2）接收傳輸天線（4）電信號并轉化為聲波信號；
c）傳感器單元（2）的溫度變化將改變聲波信號；
d）被改變的聲波信號被傳感器單元（2）轉為新的電信號返回到傳輸天線（4）；
e）射頻讀取器（5）通過傳輸天線（4）讀取新的電信號；
f）射頻讀取器（5）通過分析發送和接收的電信號區別得到傳感器單元（2）溫度變化信息。
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