[發明專利]修整板、切削刀具的修整方法和切削裝置

有效

• 申請號: 201810022079.6
• 申請日: 2018-01-10
• 公開（公告）號: CN108327102B
• 公開（公告）日: 2021-09-14
• 發明（設計）人: 關家一馬
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B28D5/02
• 分類號: B28D5/02;B28D7/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;喬婉

提供修整板、切削刀具的修整方法和切削裝置，能夠抑制可修整的區域變窄，并且能夠識別安裝于切削裝置的修整板的種類。一種修整板(70)，其中，該修整板(70)具有：條形碼(71)，其形成在與該修整板的保持于子卡盤工作臺的面(70b)相反的一側的正面(70a)上，記錄了修整板(70)的種類信息；以及槽形碼(72)，其形成在修整板(70)的角部(70c)的至少正面(70a)側，由呈現與條形碼(71)對應的顯示的槽(72a)構成。即使修整板(70)的條形碼(71)被去除，殘存的槽形碼(72)也顯示修整板(70)的種類信息。

技術領域

本發明涉及修整板、切削刀具的修整方法和切削裝置。

背景技術

作為高精度地切出半導體晶片或封裝體基板等各種各樣的板狀的被加工物的加工裝置，公知有使用切削刀具的切削裝置。在切削裝置中，出于切削刀具的修圓和修銳的目的，對安裝于主軸的切削刀具進行修整。在修整中，對在樹脂或陶瓷的結合材料中混入了WA(白剛玉、氧化鋁類)、GC(綠色碳化硅、碳化硅類)等磨粒的修整板進行切削，按照某種程度消耗切削刀具(例如，參照專利文獻1)。

由于專利文獻1所示的修整板根據切削刀具的種類來選擇結合材料及磨粒，所以具有很多種類，當以錯誤的組合進行修整時，如果沒有修圓，或者切削刀具被磨平，則可能無法發揮出切削刀具的實力。

因此，開發了如下的修整板：在修整板上形成條形碼，使切削裝置讀入條形碼而能夠識別安裝于切削裝置的修整板的種類(例如，參照專利文獻2)。

專利文獻1：日本特許第5541657號公報

專利文獻2：日本特開2012-066328號公報

但是，由于專利文獻2所示的修整板在正面形成有條形碼，所以當條形碼因基于修整的切削而被去除時，雖然修整板仍安裝在切削裝置上，但無法識別種類，而當避開條形碼進行切削時，存在修整的可使用區域變窄且不經濟的課題。

發明內容

本發明是鑒于該問題點而完成的，其目的在于，提供修整板、切削刀具的修整方法和切削裝置，能夠抑制可修整的區域變窄并且能夠識別安裝于切削裝置的修整板的種類。

根據本發明的第1側面，提供修整板，該修整板由卡盤工作臺保持而用于對切削刀具進行修整，其特征在于，該修整板具有：條形碼，其形成在該修整板的與保持于該卡盤工作臺的面相反的一側的正面上，記錄了修整板的種類信息；以及槽形碼，其形成在該修整板的邊緣部的至少正面側，由呈現與該條形碼對應的顯示的槽構成，即使該條形碼因該切削刀具的切削而被去除，所殘存的該槽形碼也顯示該修整板的種類信息。

優選該槽形碼利用槽的寬度、槽的條數、槽的間隔以及槽的長度來顯示種類信息。

根據本發明的第2側面，提供切削刀具的修整方法，其中，該切削刀具的修整方法具有如下的步驟：保持步驟，使具有記錄了修整板的種類信息的條形碼的正面露出而利用卡盤工作臺來保持該修整板；修整板登記步驟，對由該卡盤工作臺保持的該修整板的該條形碼進行拍攝，將該條形碼所包含的該修整板的種類信息登記到切削裝置的控制單元中；槽形碼確定步驟，根據通過該修整板登記步驟登記的信息，確定要形成于該修整板的邊緣部的槽形碼的圖案；槽形碼形成步驟，利用切削單元在該修整板的邊緣部形成所確定的該槽形碼的圖案；以及修整步驟，利用該切削刀具對形成了該槽形碼的該修整板的正面進行切削，對該切削刀具進行修整。

根據本發明的第3側面，提供切削裝置，其特征在于，該切削裝置具有：卡盤工作臺，其對被加工物進行保持；切削單元，其利用切削刀具對保持在該卡盤工作臺上的被加工物進行切削；拍攝單元，其對保持在該卡盤工作臺上的被加工物進行拍攝；以及控制單元，其至少對該卡盤工作臺、該切削單元和該拍攝單元進行控制，該控制單元包含：條形碼判定部，其對形成在由該卡盤工作臺保持的修整板的露出的面上的條形碼進行拍攝，并判定該條形碼所包含的該修整板的種類信息；以及槽形碼形成部，其將該條形碼的該種類信息轉換成槽形碼的圖案，并在該修整板的周緣部形成與該條形碼對應的該槽形碼。