[發(fā)明專利]一種毫微納三級(jí)結(jié)構(gòu)復(fù)眼透鏡的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810019496.5
• 申請(qǐng)日: 2018-01-09
• 公開（公告）號(hào): CN108227051B
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王文君;李江;梅雪松;潘愛飛;孫學(xué)峰;崔健磊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安交通大學(xué)
• 主分類號(hào): G02B3/00
• 分類號(hào): G02B3/00
• 代理公司: 西安智大知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 61215
• 代理人: 賀建斌

1.一種毫微納三級(jí)結(jié)構(gòu)復(fù)眼透鏡的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)將質(zhì)量分?jǐn)?shù)為15％-25％的PMMA甲苯溶液涂覆在黑色亞克力板表面，于常溫下自然揮發(fā)8h，制得表面覆蓋有厚度為50μm的PMMA薄膜的第一樣片；

2)將第一樣片安裝于三維工作臺(tái)上，搭建激光加工光路，使得飛秒激光器發(fā)射出的激光經(jīng)物鏡垂直照射在第一樣片的黑色亞克力板表面上，設(shè)定飛秒激光器重復(fù)頻率為1kHz，功率為15mW，脈沖數(shù)為1000，制造得具有微米結(jié)構(gòu)透鏡的第二樣片；

3)將PDMS旋涂在第二樣片上，旋涂速度為600rad/s,旋涂20s，制得厚度為300μm具有微米結(jié)構(gòu)的反模具；

4)使用反模具，利用氣壓輔助成形方法實(shí)現(xiàn)微米結(jié)構(gòu)陣列的曲面化，制得毫微二級(jí)復(fù)合結(jié)構(gòu)，即第三樣片；

5)在第三樣片表面濺射厚度為50nm的ZnO得到第四樣片，將7g六甲基四胺和14.87g硝酸鋅分別溶于500ml的去離子水中，攪拌20分鐘，然后將六甲基四胺溶液倒入硝酸鋅溶液中，混合攪拌15分鐘，將第四樣片放入混合溶液中，放入90℃水浴鍋中水浴20分鐘，得到第五樣片；

6)將第五樣片用去離子水清洗2分鐘，放在60℃的烘臺(tái)上50分鐘，實(shí)現(xiàn)毫微納三級(jí)結(jié)構(gòu)的復(fù)眼透鏡的制造。