[發明專利]一種抽真空裝置、抽真空系統及其抽真空方法

在審

• 申請號: 201810009145.6
• 申請日: 2018-01-04
• 公開（公告）號: CN108050043A
• 公開（公告）日: 2018-05-18
• 發明（設計）人: 楊麗;蔡書漢;周益春;謝志航;朱旺
• 申請（專利權）人: 湘潭大學
• 主分類號: F04B37/08
• 分類號: F04B37/08;C23C14/30;C23C14/56
• 代理公司: 北京中政聯科專利代理事務所(普通合伙) 11489
• 代理人: 陳超

1.一種抽真空裝置(100)，其特征在于，包括：

低溫泵(101)，其吸氣口連通到真空室(200)的排氣口，用于對所述真空室(200)抽氣以使所述真空室(200)內達到真空；

前驅泵(102)，其吸氣口分兩路，一路連通至所述低溫泵(101)的排氣口，另一路連通至所述真空室(200)的排氣口；

前級閥(103)，其設置在所述前驅泵(102)與所述真空室(200)之間的管路上；

再生閥(104)，其設置在所述前驅泵(102)與所述低溫泵(101)之間的管路上。

2.根據權利要求1所述的抽真空裝置(100)，其中，

所述低溫泵(101)內設置有主控閥(101a)，用于控制該低溫泵(101)與所述真空室(200)之間管路的通斷。

3.根據權利要求1所述的抽真空裝置(100)，其中，所述前驅泵(102)包括：

羅茨泵(102a)，其吸氣口分兩路，一路連通至所述低溫泵(101)的排氣口，另一路連通至所述真空室(200)的排氣口；

機械泵(102b)，其吸氣口連通至所述羅茨泵(102a)的排氣口。

4.根據權利要求1-3中任意一項所述的抽真空裝置(100)，還包括：

真空計(105)，其設置在所述低溫泵(101)與所述再生閥(104)之間的管路上，用于檢測該管路中的真空度。

5.根據權利要求1-3中任意一項所述的抽真空裝置(100)，還包括：

第一冷阱(106)，其設置在所述前級閥(103)與所述真空室(200)之間的管路上，用于吸收所述真空室(200)中的水蒸氣。

6.根據權利要求1-3中任意一項所述的抽真空裝置(100)，還包括：

第二冷阱(107)，其設置在所述低溫泵(101)與所述真空室(200)之間的管路上，用于阻擋所述真空泵(101)內揮發出的油蒸汽；

所述第二冷阱(107)內設置有加熱部件，用于對所述第二冷阱(107)表面的凝結物加熱以去除所述凝結物。

7.一種抽真空系統，其特征在于，包括如權利要求1-6中任意一項所述的抽真空裝置(100)和真空室(200)；

所述真空室(200)的排氣口與所述抽真空裝置(100)的吸氣口連通。

8.根據權利要求7所述的抽真空系統，其中，

所述真空室(200)的排氣口設置有百葉窗(201)，用于降低所述真空室(200)對所述低溫泵(101)的熱輻射。

9.根據權利要求7所述的抽真空系統，其中，

所述真空室(200)的外壁上設置有冷卻部件(202)，用于降低所述真空室(200)的溫度。

10.根據權利要求9所述的抽真空系統，其中，

所述真空室(200)內設置有加熱器(203)，用于加熱樣品。

11.一種抽真空方法，用于權利要求7-10中任意一項所述的抽真空系統，其特征在于，包括以下步驟：

關閉主控閥(101a)和前級閥(103)，打開再生閥(104)，啟動機械泵(102b)和羅茨泵(102a)，當低溫泵(101)的真空度達到第一預設值時，關閉所述再生閥(104)；

啟動所述低溫泵(101)，使所述低溫泵(101)中的壓縮機工作，直至所述低溫泵(101)中的氦氣溫度達到工作溫度；

打開所述前級閥(103)，使用所述機械泵(102b)對所述真空室(200)進行預抽，待所述真空室(200)的真空度達到第二預設值后，開啟所述羅茨泵(102a)并抽至真空度達到第三預設值時，關閉所述前級閥(103)，打開所述主控閥(101a)；

所述真空室(200)中的加熱器(203)開始工作，當溫度達到第一預設溫度值時，打開氧氣閥(204)；

當氦氣溫度回升至第二預設溫度值時，開啟機械泵(102b)與羅茨泵(102a)，并打開再生閥(104)。