[發(fā)明專利]真空泵及泵一體型的電源裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810008472.X
• 申請(qǐng)日: 2018-01-04
• 公開（公告）號(hào): CN108661926B
• 公開（公告）日: 2021-01-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 森山伸彥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社島津制作所
• 主分類號(hào): F04D19/04
• 分類號(hào): F04D19/04;F04D25/06;F04D29/58
• 代理公司: 北京中原華和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種真空泵，其特征在于包括：

泵單元，包含泵馬達(dá)，并包含排出經(jīng)吸入的氣體的排氣功能部、及至少兩個(gè)直流加熱器；以及

泵一體型的電源裝置，內(nèi)置有泵控制部、對(duì)所述泵控制部供給電力的泵用電源、對(duì)所述兩個(gè)直流加熱器進(jìn)行控制的直流加熱器控制部、及對(duì)所述直流加熱器控制部供給電力的一個(gè)直流加熱器電源，所述直流加熱器電源與所述泵用電源分別設(shè)置，

所述至少兩個(gè)直流加熱器與所述直流加熱器控制部經(jīng)由分別設(shè)置在所述泵單元側(cè)與所述電源裝置側(cè)的連接器以及連接所述連接器之間的電纜而連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于：

所述泵單元還包括交流加熱器，

所述電源裝置包括對(duì)所述交流加熱器進(jìn)行控制的交流加熱器控制部。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空泵，其特征在于：

在共用強(qiáng)電線上設(shè)置有噪聲濾波器，所述共用強(qiáng)電線是將對(duì)所述交流加熱器控制部供給電力的第一強(qiáng)電線、對(duì)所述泵用電源供給電力的第二強(qiáng)電線及對(duì)所述直流加熱器電源供給電力的第三強(qiáng)電線連結(jié)而成。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的真空泵，其特征在于：

包括構(gòu)成所述泵單元的泵框體、構(gòu)成所述電源裝置的電源裝置框體、以及介于所述泵框體與所述電源裝置框體之間的冷卻裝置，所述泵控制部與所述直流加熱器控制部安裝在所述冷卻裝置上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于：

在所述泵單元中，除了所述兩個(gè)直流加熱器以外，還設(shè)置有一個(gè)以上的直流加熱器。

6.一種泵一體型的電源裝置，其特征在于：用于根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的真空泵。