[發(fā)明專利]一種熱敏電阻銅電極復(fù)合層的制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201780097254.1 | 申請日: | 2017-12-01 |
| 公開(公告)號: | CN111587463B | 公開(公告)日: | 2021-07-23 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 桑勝偉 | 申請(專利權(quán))人: | 江蘇經(jīng)緯知識產(chǎn)權(quán)運營有限公司 |
| 主分類號: | H01C17/00 | 分類號: | H01C17/00;C23C14/14;C23C14/35 |
| 代理公司: | 南京經(jīng)緯專利商標代理有限公司 32200 | 代理人: | 朱小兵 |
| 地址: | 214026 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 熱敏電阻 電極 復(fù)合 制備 方法 | ||
1.一種熱敏電阻銅電極復(fù)合層的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:
(1)將陶瓷基體經(jīng)過超聲波清洗后去離子水洗滌2-3次,置于烘干機中烘干處理,烘干處理時間為10-15min,烘干處理溫度為160-200℃;烘干后待用;
(2)將Ti粉末球磨處理得到Ti納米粉末;將陶瓷基體放入直流電弧等離子體蒸發(fā)設(shè)備中,抽真空,真空度為10-3-10-4Mpa,充入惰性氣體,在惰性氣體回流中進行Ti納米粉末等離子噴濺處理,處理溫度為1600-2000℃,噴濺速度為1800-2000m/s,得到1300-1800nm厚度的第一阻擋層后降溫至20℃,降溫速度為200-300℃/s;靜置1-2小時后,將Ti粉末換成Ti-Ni納米粉末,在惰性氣體回流中進行Ti-Ni納米粉末等離子噴濺處理,處理溫度為2000-2300℃,噴濺速度為1800-2100m/s,得到1300-1800nm厚度的第二阻擋層后降溫至20℃,降溫速度為200-300℃/s,得到半成品基體;
(3)將半成品基體置于退火裝置中進行退火處理,退火處理后將含有納米鋁離子的溶液在半成品基體的表面涂布成膜,經(jīng)熱處理后得到熱敏電阻銅電極復(fù)合層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種熱敏電阻銅電極復(fù)合層的制備方法,其特征在于,所述步驟(2)中球磨處理時間為3-4小時。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種熱敏電阻銅電極復(fù)合層的制備方法,其特征在于,所述步驟(2)中惰性氣體為氬氣。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種熱敏電阻銅電極復(fù)合層的制備方法,其特征在于,所述步驟(3)中退火處理次數(shù)為2次。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種熱敏電阻銅電極復(fù)合層的制備方法,其特征在于,所述步驟(3)中熱處理程序為:從20-30℃開始,以80-90℃/min的升溫速率升溫,溫度上升到900-1000℃時,持續(xù)熱處理20-30分鐘,自然冷卻至室溫。
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