[發明專利]薄型電離檢測器

有效

• 申請號: 201780097037.2
• 申請日: 2017-11-20
• 公開（公告）號: CN111587375B
• 公開（公告）日: 2023-06-27
• 發明（設計）人: 蘇愛民;陳冰;張均輝;梁楓
• 申請（專利權）人: 霍尼韋爾國際公司
• 主分類號: G01N27/66
• 分類號: G01N27/66;G01N30/64
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 代易寧;劉茜

1.一種薄型光電離檢測器(100)，所述薄型光電離檢測器包括：

紫外輻射源(402)；

柔性基板(102)；

兩個或更多個電極(104、106、108)，所述兩個或更多個電極包含孔陣列；

間隔物(202)，所述間隔物具有一個或多個孔(204)；以及

設置在所述柔性基板(102)上的一個或多個觸點(110、112、113)；

其中所述柔性基板(102)限定一個平面，并且其中所述電極(104、106、108)被設置在所述柔性基板(102)上，使得當所述柔性基板(102)被折疊時，一個電極(104)位于頂部平面上，而另一個電極(106)位于底部平面上，并且所述間隔物(202)設置在所述電極(104、106、108)之間，

其中所述兩個或更多個電極包括感測電極(104)和偏置電極(106)。

2.根據權利要求1所述的薄型光電離檢測器(100)，其中所述兩個或更多個電極還包括保護電極(108)。

3.根據權利要求2所述的薄型光電離檢測器(100)，其中所述保護電極(108)圍繞所述感測電極(104)，并且被配置為收集來自所述偏置電極(106)的泄漏電流。

4.根據權利要求2所述的薄型光電離檢測器(100)，其中所述感測電極(104)、所述偏置電極(106)和所述保護電極(108)設置在所述柔性基板(102)上，使得當所述柔性基板(102)被折疊時，所述感測電極(104)和所述保護電極(108)位于所述頂部平面上，并且所述偏置電極(106)位于所述底部平面上；并且其中所述偏置電極(106)接近所述紫外輻射源(402)，所述感測電極(104)遠離所述紫外輻射源(402)，并且所述紫外輻射源(402)被配置成將光導引朝向所述偏置電極(106)中的所述孔。

5.根據權利要求2所述的薄型光電離檢測器(100)，其中當所述柔性基板(102)被折疊時，所述感測電極(104)和所述偏置電極(106)之間的距離小于2mm。

6.一種制造薄型光電離檢測器傳感器(500)的方法，所述方法包括：

將兩個或更多個電極(104、106、108)和觸點(110、112、113)印刷到柔性基板(102)上，其中所述電極中的兩個(104和106)包括穿過所述柔性基板(102)的孔(118和120)的陣列；

折疊所述柔性基板(102)，使得當所述柔性基板(102)被折疊時，一個電極位于頂部平面上，而另一個電極位于底部平面上；

在折疊柔性基板(102)的所述頂部平面和所述底部平面之間平行的平面中插入間隔物(202)；以及

將所述間隔物(202)結合到所述折疊柔性基板(102)，

其中印刷所述兩個或更多個電極(104、106、108)包括：

將偏置電極(106)和對應觸點(112)印刷到所述柔性基板(102)；

將感測電極(104)和對應觸點(110)印刷到所述柔性基板(102)。

7.根據權利要求6所述的方法，其中印刷所述兩個或更多個電極(104、106、108)還包括：將保護電極(108)印刷到所述柔性基板(102)；

并且其中折疊所述柔性基板(102)包括折疊所述柔性基板(102)，使得當所述柔性基板(102)被折疊時，所述感測電極(104)和所述保護電極(108)位于所述頂部平面上，并且所述偏置電極(106)位于所述底部平面上。

8.根據權利要求7所述的方法，還包括

將所述折疊的柔性基板(102)組裝成傳感器模塊(504)，所述傳感器模塊包含紫外輻射源(402)；

將所述偏置電極(106)的所述觸點(112)連接到所述傳感器模塊(504)上的高壓DC輸出引腳(508)；

將所述感測電極的所述觸點(110)連接到所述傳感器模塊(504)上的放大器輸入引腳(506)。