[發(fā)明專利]在相關(guān)電子材料器件中形成成核層

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201780076883.6
• 申請日: 2017-12-18
• 公開（公告）號: CN110073506A
• 公開（公告）日: 2019-07-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 金柏莉·蓋伊·里德;盧西恩·斯弗恩
• 申請（專利權(quán)）人: ARM有限公司
• 主分類號: H01L45/00
• 分類號: H01L45/00
• 代理公司: 北京東方億思知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11258
• 代理人: 林強

本技術(shù)一般涉及結(jié)合制造相關(guān)電子材料形成成核層，該相關(guān)電子材料例如用于執(zhí)行開關(guān)功能。在實施例中，描述了使用氣態(tài)形式的金屬前驅(qū)物將過渡金屬例如沉積在包括貴金屬的導(dǎo)電襯底上的過程。導(dǎo)電襯底可以暴露于還原劑，還原劑可以操作用于將金屬前驅(qū)物的配體轉(zhuǎn)化為氣態(tài)形式。沉積在貴金屬上的前驅(qū)物的剩余金屬部分可允許在導(dǎo)電襯底之上生長CEM膜。

技術(shù)領(lǐng)域

本技術(shù)一般涉及相關(guān)電子器件，并且可以更具體地涉及用于制造相關(guān)電子器件的方法，相關(guān)電子器件例如可以用在開關(guān)、存儲器電路等中，其可以表現(xiàn)出期望的阻抗特性。

背景技術(shù)

諸如電子開關(guān)器件的集成電路器件可以在各種電子器件類型中找到。例如，存儲器和/或邏輯器件可以包括適用于計算機、數(shù)碼相機、智能電話、平板設(shè)備、個人數(shù)字助理等的電子開關(guān)。在考慮電子開關(guān)器件是否適合于特定應(yīng)用時，設(shè)計者可能感興趣的與電子開關(guān)器件有關(guān)的因素可包括例如物理尺寸、存儲密度、操作電壓、阻抗范圍和/或功耗。設(shè)計者可能感興趣的其他因素可包括例如制造成本、易于制造性、可擴展性和/或可靠性。此外，似乎對于展現(xiàn)出較低功率和/或較高速度特性的存儲器和/或邏輯器件的需求不斷增加。然而，可能非常適合于某些類型的存儲器和/或邏輯器件的傳統(tǒng)制造技術(shù)可能不完全適合用于制造利用相關(guān)電子材料的器件。

附圖說明

在說明書的結(jié)論部分中特別指出并清楚地要求所要保護(hù)的主題。然而，關(guān)于組織和/或操作方法及其目的、特征和/或優(yōu)點，可以通過結(jié)合附圖閱讀并參考以下詳細(xì)描述來理解，其中：

圖1A是由相關(guān)電子材料形成的器件的電流密度與電壓分布的實施例的圖示；

圖1B是包括相關(guān)電子材料的開關(guān)器件的實施例的圖示以及相關(guān)電子材料開關(guān)的等效電路的示意圖；

圖2A-2C示出了試圖在導(dǎo)電襯底上形成CEM器件的子過程的實施例200；

圖3A-3G示出了利用原子層沉積方法中的氣態(tài)前驅(qū)物在導(dǎo)電襯底上形成成核層的子過程的實施例；以及

圖4是用于在導(dǎo)電襯底上形成成核層的過程的實施例的流程圖。

具體實施方式

在以下對附圖的詳細(xì)描述中參考了附圖，附圖形成了本發(fā)明的一部分，其中相同的附圖標(biāo)記可以表示貫穿附圖中相應(yīng)的和/或類似的相同部分。應(yīng)當(dāng)認(rèn)識到，附圖不一定按比例繪制，例如為了說明的簡單和/或清楚。例如，一些實施例的尺寸可能相對于其他實施例被夸大。此外，應(yīng)該理解，可以使用其他實施例。此外，在不脫離所要求保護(hù)的主題的情況下，可以進(jìn)行結(jié)構(gòu)和/或其他改變。本說明書中對“要求保護(hù)的主題”的引用是指旨在由一個或多個權(quán)利要求或其任何部分涵蓋的主題，并且不一定旨在表示完整的權(quán)利要求集、對權(quán)利要求集的特定組合(例如，方法權(quán)利要求，裝置權(quán)利要求等)或特定權(quán)利要求。還應(yīng)注意，例如，諸如上、下、頂部、底部等的方向和/或參考可用于促進(jìn)對附圖的討論，并且不旨在限制所要求保護(hù)的主題的應(yīng)用。因此，以下詳細(xì)描述不應(yīng)被視為限制所要求保護(hù)的主題和/或等同物。

貫穿本說明書對一個實現(xiàn)方式、實現(xiàn)方式、一個實施例、實施例等的提及意味著結(jié)合特定實現(xiàn)方式和/或?qū)嵤├枋龅奶囟ㄌ卣鳌⒔Y(jié)構(gòu)和/或特性等包括在所要求保護(hù)的主題的至少一個實現(xiàn)方式和/或?qū)嵤├小Ｒ虼耍纾谡麄€說明書中的各個地方出現(xiàn)這樣的短語不一定旨在提及相同的實現(xiàn)方式和/或?qū)嵤├蛉魏我粋€特定實現(xiàn)方式和/或?qū)嵤├４送猓瑧?yīng)當(dāng)理解，所描述的特定特征、結(jié)構(gòu)和/或特性等能夠在一個或多個實現(xiàn)方式和/或?qū)嵤├幸愿鞣N方式組合，并且因此在預(yù)期的權(quán)利要求范圍內(nèi)。當(dāng)然，一般來說，如同本申請說明書的情況一樣，這些和其他問題有可能因特定使用情境而異。換句話說，貫穿本公開，特定的描述和/或使用情況的上下文提供了關(guān)于要作出的合理推論的有用指導(dǎo)；然而，類似地，“在本上下文中”在沒有進(jìn)一步限定的情況下一般指本公開的上下文。