[發明專利]脈沖激光裝置、加工裝置及脈沖激光裝置的控制方法

有效

• 申請號: 201780075920.1
• 申請日: 2017-12-08
• 公開（公告）號: CN110050394B
• 公開（公告）日: 2021-01-12
• 發明（設計）人: 河原亮;松下俊一
• 申請（專利權）人: 古河電氣工業株式會社
• 主分類號: H01S3/00
• 分類號: H01S3/00;H01S3/10;H01S5/062
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 李國華

1.一種脈沖激光裝置，其特征在于，具備：

激光源；

電光調制器；

以脈沖調制來驅動所述激光源的激光源驅動部；

以脈沖調制來驅動所述電光調制器的電光調制器驅動部；和

對所述激光源驅動部與所述電光調制器驅動部進行控制的控制部，

所述激光源輸出由所述激光源驅動部進行了脈沖調制的脈沖激光，

所述電光調制器輸出由所述電光調制器驅動部對所述激光源所輸出的脈沖激光進一步進行了脈沖調制的脈沖激光，

所述控制部對所述激光源驅動部與所述電光調制器驅動部進行控制，以使得針對所述激光源的脈沖調制與針對所述電光調制器的脈沖調制至少在所述激光源為接通狀態的期間內所述電光調制器變成接通狀態，并且在所述激光源為斷開狀態的期間內，所述電光調制器至少1次變成接通狀態，使針對所述電光調制器的脈沖調制的占空比高于針對所述激光源的脈沖調制的占空比。

2.根據權利要求1所述的脈沖激光裝置，其特征在于，

所述控制部對所述激光源驅動部與所述電光調制器驅動部進行控制，以使得針對所述電光調制器的脈沖調制的反復頻率是恒定的，并且該反復頻率比針對所述激光源的脈沖調制的反復頻率大。

3.根據權利要求2所述的脈沖激光裝置，其特征在于，

在將N設為2以上的整數時，針對所述電光調制器的脈沖調制的反復頻率為針對所述激光源的脈沖調制的反復頻率的N倍。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的脈沖激光裝置，其特征在于，

所述激光源為接通狀態下的、針對所述電光調制器的脈沖調制的脈沖寬度小于針對所述激光源的脈沖調制的脈沖寬度。

5.根據權利要求1～3中任一項所述的脈沖激光裝置，其特征在于，

所述控制部對所述激光源的脈沖調制的脈沖寬度進行調整，并將輸入至所述電光調制器的激光的脈沖寬度設定為3ns以下。

6.根據權利要求1～3中任一項所述的脈沖激光裝置，其特征在于，

所述控制部通過對所述激光源的脈沖調制的脈沖寬度進行調整，從而將被輸入至所述電光調制器的激光的脈沖寬度設定為與所希望的猝發脈沖串產生的期間相當的脈沖寬度，而且將該激光的反復頻率設定為所述所希望的猝發脈沖串的反復頻率，并且，

將所述電光調制器驅動脈沖信號的反復頻率設定為與所述所希望的猝發脈沖串的脈沖間隔相應的反復頻率。

7.根據權利要求1～3中任一項所述的脈沖激光裝置，其特征在于，

所述脈沖激光裝置還具備：

接受從所述電光調制器輸出的脈沖激光，將該脈沖激光放大并輸出的光放大器。

8.根據權利要求1～3中任一項所述的脈沖激光裝置，其特征在于，

所述脈沖激光裝置還具備：

調整針對所述電光調制器的脈沖調制的占空比的占空比調整部。