[發明專利]用于帶帽MEMS裝置的垂直塞子

有效

• 申請號: 201780074019.2
• 申請日: 2017-11-10
• 公開（公告）號: CN110023233B
• 公開（公告）日: 2023-06-02
• 發明（設計）人: 鄺錦波;G·沃赫拉
• 申請（專利權）人: 美國亞德諾半導體公司
• 主分類號: B81B7/00
• 分類號: B81B7/00;B81B3/00
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 張小穩

描述帶帽微機電系統(MEMS)裝置。至少在某些情況下，MEMS裝置包括一個或多個移動的質量塊。帽可包括阻尼一個或多個可移動質量塊的運動的塞子。至少在某些情況下，塞子阻尼質量塊之一但不是另一個質量塊的運動。

相關申請的交叉引用

本申請根據35U.S.C.§119(e)要求于2016年11月11日提交的、代理人案卷號G0766.70133US00并且題為“用于帶帽MEMS裝置的垂直塞子”的美國臨時專利申請序列號62/420,893的權益，其全部內容通過引用并入本文。

本申請是根據35U.S.C.§120繼續要求于2017年7月14日提交的、代理人案卷號G0766.70133US01并且題為“用于帶帽MEMS裝置的垂直塞子”的美國專利申請序列號15/650,822的權益，其全部內容通過引用并入本文。美國專利申請序列號15/650,822根據35U.S.C.§119(e)要求于2016年11月11日提交的、代理人案卷號G0766.70133US00并且題為“用于帶帽MEMS裝置的垂直塞子”的美國臨時專利申請序列號62/420,893的權益，其全部內容通過引用并入本文。

技術領域

本申請涉及用于帶帽微機電系統(MEMS)裝置的帶帽技術。

背景技術

一些微機電系統(MEMS)裝置包括可移動檢測質量塊。例子為諧振器、加速度計和陀螺儀。檢測質量塊可以形成在一個基板或晶片上，稱為MEMS晶片。帶帽結構有時與MEMS晶片結合以形成圍繞檢測質量塊的密封外殼。

發明內容

描述帶帽微機電系統(MEMS)裝置。在一些情況下，MEMS裝置包括一個或多個移動的質量塊。帽可包括阻尼一個或多個可移動質量塊的運動的塞子。在一些情況下，塞子阻尼質量塊之一但不是另一個質量塊的運動。

根據本申請的一個方面，提供一種操作密封在帽中的微機電系統(MEMS)裝置的方法，該帽包括塞子。該方法可包括在具有模式形狀的第一平面內模式下振蕩MEMS裝置的可移動檢測質量塊，其中所述塞子定形為覆蓋所述模式形狀的外圍和/或所述可移動檢測質量塊的內部邊緣，和使用所述塞子在第一模式下阻尼所述可移動檢測質量塊的運動。

根據本申請的另一個方面，提供一種提供帶帽微機電系統(MEMS)裝置的阻尼運動的方法。該方法可包括：在與耦合基板的帽的20微米的塞子平行并且之內的運動的平面中，在模式形狀上振蕩彈性地耦合到所述基板的可移動檢測質量塊。可移動檢測質量塊具有位于所述塞子下方的外部邊緣和/或內部邊緣。

根據本申請的另一個方面，提供MEMS裝置。MEMS裝置可包括第一可移動檢測質量塊和覆蓋所述第一可移動檢測質量塊的帽，其中帽包括覆蓋大于第一可移動檢測質量塊的50％的塞子。

附圖說明

將參考以下附圖描述本申請的各個方面和實施例。應該理解的是，附圖不一定按比例繪制。出現在多個圖中的項目在它們出現的所有圖中用相同的附圖標記表示。

圖1A是示出根據一些非限制性實施例的微機電系統(MEMS)裝置的示意圖，該微機電系統(MEMS)裝置包括密封在帽中的檢測質量塊，包括塞子。

圖1B是圖1A中的MEMS裝置沿虛線1B的橫截面圖。

圖2是示出根據一些非限制性實施例的操作本文描述的MEMS裝置的方法的流程圖。

圖3A是示出根據一些非限制性實施例的MEMS裝置的示意圖，該MEMS裝置包括密封在帽中的檢測質量塊，該帽包括覆蓋檢測質量塊的內邊緣的塞子。

圖3B是圖3A中的MEMS裝置沿虛線3B的橫截面圖。

圖3C是圖3A的替代方案的示意圖，其中塞子中具有孔。