[發(fā)明專利]用于帶帽MEMS裝置的垂直塞子有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201780074019.2 | 申請(qǐng)日： | 2017-11-10 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN110023233B | 公開(kāi)（公告）日： | 2023-06-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 鄺錦波;G·沃赫拉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 美國(guó)亞德諾半導(dǎo)體公司 |
| 主分類號(hào)： | B81B7/00 | 分類號(hào)： | B81B7/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 中國(guó)貿(mào)促會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 11038 | 代理人： | 張小穩(wěn) |
| 地址： | 美國(guó)馬*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 mems 裝置 垂直 塞子 | ||
1.一種操作密封在帽中的微機(jī)電系統(tǒng)MEMS裝置的方法，該帽包括塞子，該方法包括：
在具有模式形狀的第一平面內(nèi)模式下振蕩MEMS裝置的可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊，其中所述可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊有內(nèi)部邊緣，并且所述塞子定形為覆蓋所述可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊的內(nèi)部邊緣且不覆蓋所述可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊的外部邊緣；和
使用所述塞子在第一模式下阻尼所述可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊的運(yùn)動(dòng)，
其中，所述可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊的移動(dòng)限定模式形狀。
2.權(quán)利要求1所述的方法，其中所述塞子的面積大于所述可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊的面積的50％。
3.權(quán)利要求1所述的方法，其中所述可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊是第一可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊，并且其中所述MEMS裝置具有第二可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊，所述第二可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊被配置為在與所述第一可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊相同的平面中平面內(nèi)運(yùn)動(dòng)，其中阻尼第一可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊的運(yùn)動(dòng)包括不阻尼所述第二可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊的平面內(nèi)運(yùn)動(dòng)。
4.權(quán)利要求3所述的方法，其中所述第二可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊與所述第一可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊同心并在其外部。
5.權(quán)利要求3所述的方法，還包括將所述第二可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊在所述第一可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊的平面內(nèi)、并與所述第一可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊的振蕩正交移動(dòng)。
6.權(quán)利要求1所述的方法，其中所述塞子具有與可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊相鄰的不連續(xù)表面。
7.一種提供帶帽微機(jī)電系統(tǒng)MEMS裝置的阻尼運(yùn)動(dòng)的方法，該方法包括：
在與耦合到基板的帽的塞子平行并且在其20微米之內(nèi)的運(yùn)動(dòng)的平面中，在模式形狀上振蕩彈性地耦合到所述基板的可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊，所述可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊有內(nèi)部邊緣，所述塞子覆蓋所述可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊的內(nèi)部邊緣且不覆蓋所述可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊的外部邊緣。
8.權(quán)利要求7所述的方法，其中所述可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊是第一可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊，并且其中該方法還包括在第一可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊平面內(nèi)并與第一可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊正交地移動(dòng)第二可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊。
9.權(quán)利要求8所述的方法，其中所述第二可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊具有不位于所述塞子下方的外圍。
10.權(quán)利要求8所述的方法，其中所述第一可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊的外部邊緣與所述第二可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊的內(nèi)部邊緣相鄰，并且其中所述塞子覆蓋所述第一可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊的外部邊緣和所述第二可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊的內(nèi)部邊緣。
11.權(quán)利要求8所述的方法，其中響應(yīng)于MEMS裝置的旋轉(zhuǎn)執(zhí)行在第一可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊平面內(nèi)并與第一可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊正交地移動(dòng)第二可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊。
12.一種MEMS裝置，包括：
第一可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊；和
覆蓋所述第一可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊的帽，其中所述帽包括覆蓋大于所述第一可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊的50％的塞子，
其中，所述第一可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊有內(nèi)部邊緣，所述塞子覆蓋所述第一可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊的內(nèi)部邊緣且不覆蓋所述第一可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊的外部邊緣。
13.權(quán)利要求12所述的MEMS裝置，還包括由所述帽覆蓋的第二可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊，其中所述第一可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊具有與所述第二可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊的內(nèi)部邊界相鄰的外部邊界，并且其中所述塞子覆蓋所述第一可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊的外部邊界和所述第二可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊的內(nèi)部邊界。
14.權(quán)利要求13所述的MEMS裝置，其中所述塞子不覆蓋所述第二可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊。
15.權(quán)利要求14所述的MEMS裝置，還包括將所述第一和第二可移動(dòng)檢測(cè)質(zhì)量塊彼此連接的元件。
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