[發明專利]光引發劑及包含其的遮光用光敏樹脂組合物

有效

• 申請號: 201780073323.5
• 申請日: 2017-11-22
• 公開（公告）號: CN109997080B
• 公開（公告）日: 2022-12-23
• 發明（設計）人: 崔正植;金兌洙;金泰運;施允基;安廷珉;楊英恩;吳泉林;柳權壹;李德熙;李元重
• 申請（專利權）人: 株式會社三養社
• 主分類號: G03F7/028
• 分類號: G03F7/028;G03F7/027;G03F7/105;C07C271/08;G03F7/16;H01L51/50
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 羅達;劉成春

本發明涉及一種光引發劑及包含其的遮光用光敏樹脂組合物，更詳細地，涉及一種光引發劑及光敏樹脂組合物，其中，所述光引發劑含有選自化學式1的化合物、化學式2的化合物及化學式3的化合物中的兩個以上的化合物，所述光敏樹脂組合物包含所述光引發劑而顯示出提升的遮光性，并且顯示出優異的深部固化性，有利于使用光刻法的圖案的形成及顯影工藝，因此能夠適合用作用于有機發光材料顯示面板的遮光用光敏樹脂組合物。

技術領域

本發明涉及一種光引發劑及包含其的遮光用光敏樹脂組合物，更詳細地，涉及一種光引發劑及光敏樹脂組合物，其中，所述光引發劑含有選自化學式1的化合物、化學式2的化合物及化學式3的化合物中的兩個以上的化合物，所述光敏樹脂組合物包含所述光引發劑而顯示出提升的遮光性，并且顯示出優異的深部固化性，有利于使用光刻法的圖案的形成及顯影工藝，因此能夠適合用作用于有機發光材料顯示面板的遮光用光敏樹脂組合物。

背景技術

近年來，在顯示用設備中作為用于超高清晰度(Ultra Definition，UD)以上的高分辨率及240Hz以上的高速驅動的元件，正積極地研究低溫多晶硅(Low TemperaturePoly-Silicon，LTPS)和氧化物薄膜晶體管。

通常，氧化物薄膜晶體管由于光而使半導體的性質發生變化，因此通過導入遮光層來最小化上述的問題。在形成遮光層后，在高溫下進行PE-CVD等后續工藝，因此作為遮光層主要使用金屬遮光層。但是，由于金屬遮光層的反射率高，光會反射并進入源電極、漏電極和遮光層之間，在源電極、漏電極之間產生寄生電壓，構成增加元件的工作電阻的因素，因此存在數據線的負荷增加的問題。

尤其，還會在有機發光材料顯示器及透明顯示器中導入遮光層，以消除上部金屬配線與下部金屬配線的反射所導致的對比度顯著降低的特性。

用于光敏組合物的光引發劑的常規例子已知有苯乙酮衍生物、二苯甲酮衍生物、三嗪衍生物、聯咪唑衍生物、?；趸⒀苌锛半旷パ苌锏榷鄠€種類，其中肟酯衍生物具有如下優點：吸收紫外線而幾乎不會顯示顏色，自由基生成效率高，并且與光敏組合物材料的相容性及穩定性優異。但是，早期開發的肟衍生物化合物的光引發效率低，尤其在圖案曝光工藝中，敏感度低，因此需要增加曝光量，由此存在產量變少的問題。為了改善這樣的缺點，作為光引發劑提出了各種肟酯衍生物化合物(例如，韓國公開專利10-2001-0082580號，10-2007-0044753號)。

發明內容

要解決的技術問題

本發明的目的在于提供一種光敏樹脂組合物及尤其適用于所述光敏樹脂組合物的光引發劑，其中，所述光敏樹脂組合物顯示出提升的遮光性，并且顯示出優異的深部固化性，有利于使用光刻法的圖案的形成及顯影工藝，因此能夠適合用作用于有機發光材料顯示面板的遮光用光敏樹脂組合物。

技術方案

為了實現上述目的，本發明提供一種光引發劑，其含有選自下述化學式1的化合物、化學式2的化合物及化學式3的化合物中的兩個以上的化合物。

[化學式1]

[化學式2]

[化學式3]

所述化學式1及化學式2中，R₁至R₃各自獨立地為氫、鹵素、烷基、芳基、烷氧基、芳烷基、羥烷基、羥基烷氧基烷基或環烷基，A是氫、烷基、芳基、烷氧基、芳烷基、羥烷基、羥基烷氧基烷基、環烷基、氨基、硝基、氰基或羥基。

所述化學式3中，R₄至R₆各自獨立地為氫、鹵素、烷基、芳基、烷氧基、芳烷基、羥烷基、羥基烷氧基烷基或環烷基。