[發(fā)明專利]用于處理構(gòu)件的設(shè)備以及用于運行這種設(shè)備的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201780069620.2
• 申請日: 2017-11-09
• 公開（公告）號: CN109937094B
• 公開（公告）日: 2021-12-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: D·豪斯坦;S·馬丁;M·內(nèi)斯特勒;M·澤納
• 申請（專利權(quán)）人: 斯西亞系統(tǒng)有限公司
• 主分類號: B05B13/02
• 分類號: B05B13/02;B65G54/02;H02K41/03
• 代理公司: 北京市鑄成律師事務(wù)所 11313
• 代理人: 包莉莉;武晨燕

本發(fā)明涉及一種用于處理構(gòu)件的設(shè)備，其具有：移動車，移動車具有框架、轉(zhuǎn)向架、第一平移永磁體裝置、旋轉(zhuǎn)永磁體裝置和車側(cè)縱向引導機構(gòu)，框架限定平移軸線，移動車可沿平移軸線平移運動，轉(zhuǎn)向架相對可轉(zhuǎn)動地與框架連接并且構(gòu)件可安置在轉(zhuǎn)向架處；固定式移動車引導裝置，其具有引導裝置側(cè)縱向引導機構(gòu)；具有電磁體的第一平移電磁體裝置，該電磁體與第一平移永磁體裝置的永磁體磁性共同作用；具有電磁體的第一旋轉(zhuǎn)電磁體裝置，該電磁體與旋轉(zhuǎn)永磁體裝置的永磁體磁性共同作用；和控制裝置，其與第一平移電磁體裝置和第一旋轉(zhuǎn)電磁體裝置連接以激勵電磁體，以便控制移動車的平移運動和以便控制轉(zhuǎn)向架的旋轉(zhuǎn)運動。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于處理(例如用于覆層和/或脫層)構(gòu)件的設(shè)備、用于這種設(shè)備的移動車以及用于操作這種設(shè)備的方法。

背景技術(shù)

總體而言，用于對構(gòu)件覆層和/或脫層的、通常用于處理構(gòu)件的常規(guī)設(shè)備用于：將具有期望厚度的一個或多個材料層施加到構(gòu)件上和/或從其剝離。通常，這種常規(guī)設(shè)備具有多個室/站，構(gòu)件被運輸?shù)剿鍪?站中或被運輸經(jīng)過所述室/站，以便在此經(jīng)受特定的加工過程。例如，構(gòu)件被從大氣側(cè)的環(huán)境運輸?shù)焦に囀抑校谒龉に囀抑写嬖谡婵詹⑶以谒龉に囀抑须S后執(zhí)行所需要的加工過程，例如以執(zhí)行對構(gòu)件覆層或?qū)⒉牧蠌臉?gòu)件剝離。在加工過程結(jié)束之后，構(gòu)件被運出工藝室。

就以所需要的方式將構(gòu)件運輸?shù)绞液驼局泻?或以所需要的方式在室和站之內(nèi)對構(gòu)件進行運輸而言，存在不同的常規(guī)方案。在常規(guī)技術(shù)中例如使用移動裝置，構(gòu)件被安置到該移動裝置，并且(例如在牽引鏈中引導的)導線連接到該移動裝置用于為該移動裝置供應(yīng)能量以驅(qū)動該移動裝置，所述導線在室/站之內(nèi)(尤其也在具有真空的工藝室之內(nèi))伸展。

然而，在導線在工藝室之內(nèi)伸展的情況下，會出現(xiàn)在真空下氣體析出，并且由此會造成對真空的外來材料污染和/或顆粒污染，進而造成真空質(zhì)量(例如借助于設(shè)備的特定配置而可達到的最小壓力)變差以及構(gòu)件加工結(jié)果變差。

此外，尤其在不同壓力水平的區(qū)域中過渡時(例如在從大氣側(cè)到真空側(cè)的過渡時)，連接到常規(guī)移動裝置的導線是妨礙性的，并且通常必須設(shè)置附加的、可脫開的端子和導線，以便從大氣側(cè)起將能量輸送給真空側(cè)上的驅(qū)動系統(tǒng)，這導致設(shè)備的結(jié)構(gòu)更復雜，并且由此，制造和安裝常規(guī)設(shè)備的成本高且工作量大。

此外，通常也在設(shè)備的不同部段(例如在大氣側(cè)、真空側(cè)等)使用不同的驅(qū)動系統(tǒng)，這使常規(guī)設(shè)備的模塊化構(gòu)造方式變得困難，并且還導致制造和安裝常規(guī)設(shè)備的成本高且工作量大。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供了一種用于處理構(gòu)件的設(shè)備、用于這種設(shè)備的移動車和用于運行這種設(shè)備的方法，其減少或甚至完全避免了至少一些上述缺點。

本發(fā)明提供一種用于處理(例如覆層和/或脫層)構(gòu)件的設(shè)備，其具有：移動車，所述移動車具有框架、轉(zhuǎn)向架、第一平移永磁體裝置、旋轉(zhuǎn)永磁體裝置和車側(cè)縱向引導機構(gòu)，所述框架沿著縱向方向限定平移軸線，移動車可沿著平移軸線向前和向后平移地運動，所述轉(zhuǎn)向架相對于框架圍繞旋轉(zhuǎn)軸線可轉(zhuǎn)動地與框架連接并且構(gòu)件可安置在轉(zhuǎn)向架處，所述第一平移永磁體裝置安置在框架處并且具有沿著縱向方向設(shè)置的永磁體，所述旋轉(zhuǎn)永磁體裝置安置在轉(zhuǎn)向架處，限定圍繞旋轉(zhuǎn)軸線延伸的環(huán)周方向并且具有沿著環(huán)周方向設(shè)置的永磁體，所述車側(cè)縱向引導機構(gòu)安置在框架處；固定式移動車引導裝置，所述固定式移動車引導裝置具有與車側(cè)縱向引導機構(gòu)互補的引導裝置側(cè)縱向引導機構(gòu)，借助所述引導裝置側(cè)縱向引導機構(gòu)平移地引導移動車；第一平移電磁體裝置，所述第一平移電磁體裝置安置在移動車引導裝置處并且具有沿著縱向方向設(shè)置的電磁體，所述電磁體與第一平移永磁體裝置的永磁體磁性共同作用；第一旋轉(zhuǎn)電磁體裝置，所述旋轉(zhuǎn)電磁體裝置安置在移動車引導裝置處并且具有沿著縱向方向設(shè)置的電磁體，所述電磁體與旋轉(zhuǎn)永磁體裝置的永磁體磁性共同作用；和控制裝置，所述控制裝置與第一平移電磁體裝置和第一旋轉(zhuǎn)電磁體裝置連接以激勵電磁體(例如以對電磁體供電)，以便借助第一平移電磁體裝置的電磁體與第一平移永磁體裝置的永磁體的磁性共同作用控制移動車沿著平移軸線的平移運動，并且以便借助于第一旋轉(zhuǎn)電磁體裝置的電磁體與旋轉(zhuǎn)永磁體裝置的永磁體的磁性共同作用控制轉(zhuǎn)向架圍繞旋轉(zhuǎn)軸線的旋轉(zhuǎn)運動。