[發明專利]探針

在審

• 申請號: 201780069227.3
• 申請日: 2017-11-28
• 公開（公告）號: CN110036299A
• 公開（公告）日: 2019-07-19
• 發明（設計）人: 淺野佳江;濱口恒夫;石田清;中川正貢
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;H01L21/66
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 朱龍

1.一種探針，其中，所述探針具備：

筒體，所述筒體具有第一端部和與所述第一端部相反的一側的第二端部，所述第一端部具有開口；以及

柱塞，所述柱塞具有接觸端子部和與所述接觸端子部相反的一側的第三端部，所述第三端部收容于所述筒體，且所述接觸端子部從所述第一端部露出，所述柱塞構成為能夠一邊相對于所述筒體旋轉一邊在所述筒體的長度方向上移動，

所述探針還具備朝向所述第一端部對所述柱塞施力的螺旋彈簧，所述螺旋彈簧配置于所述第二端部與所述第三端部之間，所述螺旋彈簧具有所述第三端部側的第四端部，

所述探針還具備將所述第三端部與所述第四端部連接的連接構件，

所述連接構件具有面向所述第三端部的第一端面和面向所述第四端部的第二端面，

所述第一端面與所述第三端部點接觸，

所述第三端部及所述第一端面中的至少一個在所述第三端部與所述第一端面之間的第一接觸部包括第一球面的一部分，

所述第二端面構成為不擴展所述第四端部處的所述螺旋彈簧的內徑及外徑。

2.根據權利要求1所述的探針，其中，

所述第一端面在所述第一接觸部包括所述第一球面的所述一部分，

所述第三端部在所述第一接觸部包括第一平面。

3.根據權利要求1所述的探針，其中，

所述第一端面在所述第一接觸部包括第一平面，

所述第三端部在所述第一接觸部包括所述第一球面的所述一部分。

4.根據權利要求1所述的探針，其中，

所述第一端面及所述第三端部在所述第一接觸部包括所述第一球面的所述一部分。

5.根據權利要求2或權利要求4所述的探針，其中，

所述連接構件包括：包括所述第一端面的第一子連接構件和包括所述第二端面的第二子連接構件，

所述第一子連接構件包括：包括所述第一球面的所述一部分的所述第一端面和與所述第二子連接構件點接觸的第三端面，

所述第三端面在所述第一子連接構件與所述第二子連接構件之間的第二接觸部包括第二球面的一部分。

6.根據權利要求5所述的探針，其中，

所述第二子連接構件包括與所述第二球面的所述一部分接觸的第三球面的一部分。

7.根據權利要求1至權利要求6中任一項所述的探針，其中，

所述第二端面包括收容所述螺旋彈簧的所述第四端部的凹部。

8.根據權利要求7所述的探針，其中，

所述凹部的深度為所述螺旋彈簧的節距以上。

9.根據權利要求7所述的探針，其中，

所述凹部的深度為所述螺旋彈簧的節距的兩倍以上。

10.根據權利要求1至權利要求6中任一項所述的探針，其中，

所述第二端面包括至少從所述內徑的內側延伸到所述外徑的外側的第二平面。

11.根據權利要求10所述的探針，其中，

所述連接構件還包括從所述第二平面突出且配置在所述螺旋彈簧內的突出部，

所述突出部的直徑比所述螺旋彈簧的所述內徑小。

12.根據權利要求11所述的探針，其中，

所述螺旋彈簧的一部分收容于設置在所述突出部的側面上的一個以上的凹坑。

13.根據權利要求1至權利要求12中任一項所述的探針，其中，使用導電性接合構件將所述第四端部與所述第二端面接合。