[發(fā)明專(zhuān)利]玻璃基板的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201780064578.5
• 申請(qǐng)日: 2017-10-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109843821B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-11-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山本好晴;中塚弘樹(shù);大野和宏;伊澤誠(chéng)一
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 日本電氣硝子株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): C03C15/00
• 分類(lèi)號(hào): C03C15/00;G02F1/13;G02F1/1333
• 代理公司: 中科專(zhuān)利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 劉影娜

1.一種玻璃基板的制造方法，其包含如下工序：在將玻璃基板以平放姿勢(shì)沿搬運(yùn)方向搬運(yùn)，使得該玻璃基板通過(guò)在對(duì)置配置的上部構(gòu)成體與下部構(gòu)成體的相互之間形成的處理空間的同時(shí)，使用處理氣體對(duì)所述玻璃基板的下表面實(shí)施蝕刻處理，其中，從設(shè)置于所述下部構(gòu)成體的供氣口向所述處理空間供給所述處理氣體，并且，通過(guò)分別設(shè)置于所述下部構(gòu)成體中的所述搬運(yùn)方向的上游側(cè)端部及下游側(cè)端部的排氣口從所述處理空間排出所述處理氣體，

所述玻璃基板的制造方法的特征在于，

所述供氣口的數(shù)量為1個(gè)以上，

在所述供氣口的數(shù)量為1個(gè)的情況下，所述下游側(cè)端部的排氣口與所述供氣口的沿著所述搬運(yùn)方向的相互間距離比所述上游側(cè)端部的排氣口與所述供氣口的沿著所述搬運(yùn)方向的相互間距離長(zhǎng)，

在沿著所述搬運(yùn)方向配置的所述供氣口的數(shù)量為多個(gè)的情況下，所述下游側(cè)端部的排氣口與最下游側(cè)的所述供氣口的沿著所述搬運(yùn)方向的相互間距離比所述上游側(cè)端部的排氣口與最上游側(cè)的所述供氣口的沿著所述搬運(yùn)方向的相互間距離長(zhǎng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

將所述供氣口形成為在所述玻璃基板的與所述搬運(yùn)方向正交的寬度方向上呈長(zhǎng)條的狹縫狀。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

在多個(gè)所述供氣口中，最下游側(cè)的所述供氣口供給的所述處理氣體的流量最多。