[發(fā)明專利]基板檢查裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201780057525.0 | 申請日： | 2017-08-25 |
| 公開（公告）號： | CN109716147B | 公開（公告）日： | 2021-08-10 |
| 發(fā)明（設計）人： | 山田浩史;藤原潤 | 申請（專利權(quán)）人： | 東京毅力科創(chuàng)株式會社 |
| 主分類號： | G01R31/28 | 分類號： | G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 檢查 裝置 | ||
1.一種基板檢查裝置，其特征在于，
具備：保持構(gòu)件，其保持探針卡；板狀的卡盤，其與所述探針卡相向且載置所述基板；以及檢查室，其用于配置所述保持構(gòu)件和所述卡盤，所述基板檢查裝置使所述卡盤接近所述保持構(gòu)件來使所述基板與所述探針卡接觸，并且在所述保持構(gòu)件與所述卡盤之間形成密閉空間，通過將所述密閉空間減壓來維持所述探針卡與所述基板的接觸狀態(tài)，
所述基板檢查裝置還具備氣體導入路徑，所述氣體導入路徑用于將與所述檢查室分開設置且被分隔出的空間的氣體導入所述密閉空間，
在所述被分隔出的空間中填充干燥氣體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢查裝置，其特征在于，
所述氣體導入路徑由不透濕材料構(gòu)成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板檢查裝置，其特征在于，
所述氣體導入路徑具有至少一個接頭，所述接頭由金屬構(gòu)成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板檢查裝置，其特征在于，
在所述被分隔出的空間中總是填充干燥氣體。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板檢查裝置，其特征在于，
所述氣體導入路徑經(jīng)由所述保持構(gòu)件向所述密閉空間導入所述干燥氣體。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板檢查裝置，其特征在于，
所述氣體導入路徑分支后與減壓泵連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板檢查裝置，其特征在于，
所述干燥氣體包括干燥空氣。
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