[發(fā)明專利]檢測(cè)方法及檢測(cè)裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201780057034.6
• 申請(qǐng)日: 2017-06-15
• 公開（公告）號(hào): CN109716170A
• 公開（公告）日: 2019-05-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 角間央章;坂田健典
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社斯庫林集團(tuán)
• 主分類號(hào): G01V8/10
• 分類號(hào): G01V8/10;B05C11/00;B05C11/08
• 代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 宋曉寶;陳林

本發(fā)明提供一種檢測(cè)非供給期間內(nèi)有無液體落下的技術(shù)。在停止向一個(gè)以上的噴嘴中的對(duì)象噴嘴供給液體的非供給期間，進(jìn)行將液體從該對(duì)象噴嘴的開口落下時(shí)的落下路徑包含于拍攝視野中而進(jìn)行拍攝的拍攝工序，以及使用拍攝工序中的拍攝結(jié)果來檢測(cè)有無液體落下的檢測(cè)工序。由此，能夠在停止向?qū)ο髧娮旃┙o液體的非供給期間檢測(cè)有無液體從該對(duì)象噴嘴落下。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種檢測(cè)有無液體在非預(yù)想的時(shí)機(jī)從噴嘴落下的技術(shù)。

背景技術(shù)

已知一種在對(duì)基板等對(duì)象物供給液體的處理中判定是否適當(dāng)?shù)毓┙o液體的技術(shù)。

例如，在專利文獻(xiàn)1所記載的技術(shù)中，將拍攝在即將供給液體前位于基板的上方的噴嘴的開口周邊所得的圖像與拍攝在供給液體時(shí)位于基板的上方的噴嘴的開口周邊所得的圖像相比。由此，在該技術(shù)中，能夠在向噴嘴供給液體的供給期間判定是否如所預(yù)期地從噴嘴向?qū)ο笪锕┙o液體。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2015-173148號(hào)公報(bào)。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的問題

然而，在上述技術(shù)中，無法在停止向噴嘴供給液體的非供給期間檢測(cè)液體是否從噴嘴落下。例如，在安裝于從液體供給源至噴嘴的流路中的開閉閥上產(chǎn)生微小的傷痕的情況下等，有可能發(fā)生流路內(nèi)的液體在開閉閥的下游側(cè)漏出而發(fā)生如上述的液體的落下。

由于非供給期間內(nèi)的液體的落下(即，在非預(yù)期的時(shí)機(jī)的液體落下)是造成使對(duì)象物的成品率降低的原因，因此有關(guān)檢測(cè)這樣的落下的有無尚有改善的余地。

本發(fā)明是鑒于上述課題而提出的，其目的在于提供一種檢測(cè)有無液體在非供給期間落下的技術(shù)。

解決問題的技術(shù)方案

第一實(shí)施方式的檢測(cè)方法包括：拍攝工序，在停止向一個(gè)以上的噴嘴中的對(duì)象噴嘴供給液體的非供給期間，將液體從該對(duì)象噴嘴的開口落下時(shí)的落下路徑包含于拍攝視野中來進(jìn)行拍攝；以及檢測(cè)工序，使用所述拍攝工序中的拍攝結(jié)果來檢測(cè)有無所述液體落下。

第二實(shí)施方式的檢測(cè)方法根據(jù)第一實(shí)施方式的檢測(cè)方法，其中，所述拍攝視野是被供給所述液體的對(duì)象物的上方的區(qū)域，在所述拍攝工序中，檢測(cè)從位于所述對(duì)象物的上方的所述對(duì)象噴嘴有無液體落下。

第三實(shí)施方式的檢測(cè)方法根據(jù)第二實(shí)施方式的檢測(cè)方法，其中，還包括：退避工序，緊接著所述拍攝工序，使所述對(duì)象噴嘴從所述對(duì)象物的上方退避。

第四實(shí)施方式的檢測(cè)方法根據(jù)第二實(shí)施方式的檢測(cè)方法，其中，還包括：供給工序，緊接著所述拍攝工序，從所述對(duì)象噴嘴向所述對(duì)象物供給所述液體。

第五實(shí)施方式的檢測(cè)方法根據(jù)第一實(shí)施方式至第四實(shí)施方式中任一實(shí)施方式的檢測(cè)方法，其中，所述一個(gè)以上的噴嘴包括由一體地移動(dòng)的多個(gè)噴嘴構(gòu)成的噴嘴組、以及單體地移動(dòng)的噴嘴，所述對(duì)象噴嘴至少包括所述噴嘴組。

第六實(shí)施方式的檢測(cè)裝置具有：一個(gè)以上的噴嘴；拍攝部，在停止向所述一個(gè)以上的噴嘴中的對(duì)象噴嘴供給液體的非供給期間，拍攝液體從該對(duì)象噴嘴的開口落下時(shí)的落下路徑；以及檢測(cè)部，使用所述拍攝部中的拍攝結(jié)果來檢測(cè)有無所述液體落下。

發(fā)明效果

在第一實(shí)施方式至第五實(shí)施方式的檢測(cè)方法及第六實(shí)施方式的檢測(cè)裝置中，能夠在停止向?qū)ο髧娮旃┙o液體的非供給期間檢測(cè)有無液體從該對(duì)象噴嘴落下。

附圖說明

圖1是包含基板處理裝置的基板處理系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施方式的俯視圖。

圖2是示出基板處理裝置1A的構(gòu)造的俯視圖。

圖3是從圖2的III-III剖面示出基板處理裝置1A的剖視圖及控制部的結(jié)構(gòu)的圖。