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[發明專利]檢測方法及檢測裝置在審

專利信息
申請號: 201780057034.6 申請日: 2017-06-15
公開(公告)號: CN109716170A 公開(公告)日: 2019-05-03
發明(設計)人: 角間央章;坂田健典 申請(專利權)人: 株式會社斯庫林集團
主分類號: G01V8/10 分類號: G01V8/10;B05C11/00;B05C11/08
代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003 代理人: 宋曉寶;陳林
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 落下 供給期間 噴嘴 拍攝 噴嘴供給液體 檢測 檢測工序 檢測裝置 拍攝結果 種檢測 開口 視野
【權利要求書】:

1.一種檢測方法,包括:

拍攝工序,在停止向一個以上的噴嘴中的對象噴嘴供給液體的非供給期間,將液體從該對象噴嘴的開口落下時的落下路徑包含于拍攝視野中來進行拍攝;以及

檢測工序,使用所述拍攝工序中的拍攝結果來檢測有無所述液體落下。

2.根據權利要求1所述的檢測方法,其中,

所述拍攝視野是被供給所述液體的對象物的上方的區域,

在所述拍攝工序中,檢測從位于所述對象物的上方的所述對象噴嘴有無液體落下。

3.根據權利要求2所述的檢測方法,其中,還包括:

退避工序,緊接著所述拍攝工序,使所述對象噴嘴從所述對象物的上方退避。

4.根據權利要求2所述的檢測方法,其中,還包括:

供給工序,緊接著所述拍攝工序,從所述對象噴嘴向所述對象物供給所述液體。

5.根據權利要求1~4中任一項所述的檢測方法,其中,

所述一個以上的噴嘴包括由一體地移動的多個噴嘴構成的噴嘴組、以及單體地移動的噴嘴,

所述對象噴嘴至少包括所述噴嘴組。

6.一種檢測裝置,具有:

一個以上的噴嘴;

拍攝部,在停止向所述一個以上的噴嘴中的對象噴嘴供給液體的非供給期間,拍攝液體從該對象噴嘴的開口落下時的落下路徑;以及

檢測部,使用所述拍攝部中的拍攝結果來檢測有無所述液體落下。

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