[發明專利]彈性波裝置及其制造方法

有效

• 申請號: 201780052550.X
• 申請日: 2017-08-29
• 公開（公告）號: CN109643982B
• 公開（公告）日: 2020-03-24
• 發明（設計）人: 安田潤平
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H03H9/145
• 分類號: H03H9/145;H03H3/10;H03H9/64;H03H9/72
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 李逸雪

提供一種能夠容易進行構成于同一壓電基板的多個帶通型濾波器的頻率調整的彈性波裝置。彈性波裝置(1)具備：第1帶通型濾波器，構成于壓電基板(7)，具有多個第1IDT電極(9A)和第1電介質膜(16A)，將第1發送頻帶或者第1接收頻帶設為通帶；和第2帶通型濾波器，構成于壓電基板(7)，具有多個第2IDT電極(9B)和第2電介質膜(16B)，將第2發送頻帶或者第2接收頻帶設為通帶。第1、第2IDT電極(9A、9B)或者第1、第2電介質膜(16A、16B)的至少一方是相同的膜厚，并且包含相同的材料。將第1發送頻帶的端部的頻率設為Tx1，將第1接收頻帶的端部的頻率設為Rx1，將第1帶通型濾波器的通帶的中心頻率設為f1，將第2發送頻帶的端部的頻率設為Tx2，將第2接收頻帶中的端部的頻率設為Rx2，將第2帶通型濾波器的通帶的中心頻率設為f2，此時，|Tx1—Rx1|/f1>|Tx2?Rx2|/f2，多個第1IDT電極(9A)的占空比的加權平均值比多個第2IDT電極(9B)的占空比的加權平均值大。

技術領域

本發明涉及彈性波裝置及其制造方法。

背景技術

以往，彈性波裝置被廣泛用于移動電話機等。在下述的專利文獻1所述的彈性波裝置中，在同一壓電基板，構成頻率特性相互不同的2個聲表面波元件。在壓電基板上，設置絕緣膜，以使得覆蓋各聲表面波元件中的IDT電極。通過使2個聲表面波元件中的絕緣膜的膜厚相互不同，可調整各彈性波裝置的頻率特性。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：JP特開2000-341068號公報

發明內容

-發明要解決的課題-

在彈性波裝置中，由于IDT電極的電極指的線寬、膜厚的制造偏差，頻率特性產生偏差。由此，插入損耗、頻帶外衰減量等的濾波器特性可能劣化。

如專利文獻1所述的彈性波裝置那樣，在具有多個聲表面波元件的情況下，在聲表面波元件間，制造時頻率的偏差方式不同。因此，需要按照每個聲表面波元件來獨立地進行頻率調整。因此，特別是具有多個帶通型濾波器的彈性波裝置等的制造工序繁瑣。

本發明的目的在于，提供一種能夠容易地進行構成于同一壓電基板的多個帶通型濾波器的頻率調整的彈性波裝置及其制造方法。

-解決課題的手段-

在本發明所涉及的彈性波裝置的某個廣泛方面，具備：壓電基板；第1帶通型濾波器，具有被設置在所述壓電基板上的多個第1IDT電極、和被設置在所述壓電基板上以使得覆蓋所述多個第1IDT電極的第1電介質膜，并且將包含第1發送頻帶以及第1接收頻帶的第1通信頻帶之中的所述第1發送頻帶或者所述第1接收頻帶設為通帶；和第2帶通型濾波器，具有被設置在所述壓電基板上的多個第2IDT電極、和被設置在所述壓電基板上以使得覆蓋所述多個第2IDT電極的第2電介質膜，并且將與所述第1通信頻帶不同的包含第2發送頻帶以及第2接收頻帶的第2通信頻帶之中的所述第2發送頻帶或者所述第2接收頻帶設為通帶，所述第1、第2IDT電極、或者所述第1、第2電介質膜的至少一方是相同的膜厚，并且包含相同的材料，在所述第1通信頻帶中，將所述第1發送頻帶的最接近于所述第1接收頻帶的端部的頻率設為Txl，將所述第1接收頻帶的最接近于所述第1發送頻帶的端部的頻率設為Rx1，將所述第1帶通型濾波器的通帶的中心頻率設為f1，在所述第2通信頻帶中，將所述第2發送頻帶的最接近于所述第2接收頻帶的端部的頻率設為Tx2，將所述第2接收頻帶的最接近于所述第2發送頻帶的端部的頻率設為Rx2，將所述第2帶通型濾波器的通帶的中心頻率設為f2，此時，|Tx1-Rx1|/f1＞|Tx2-Rx2|/f2，所述多個第1IDT電極的占空比的加權平均值比所述多個第2IDT電極的占空比的加權平均值大。

在本發明所涉及的彈性波裝置的另一特定的方面，全部所述第1IDT電極的占空比大于全部所述第2IDT電極的占空比。在該情況下，能夠進一步容易進行第1、第2帶通型濾波器的頻率調整。