[發明專利]基板搬送手的診斷系統

有效

• 申請號: 201780050991.6
• 申請日: 2017-09-21
• 公開（公告）號: CN109564889B
• 公開（公告）日: 2023-04-11
• 發明（設計）人: 后藤博彥;吉田哲也;丹治彥;藤森一夫;山下雄大;住友雅彥
• 申請（專利權）人: 川崎重工業株式會社
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;B25J13/08;B65G49/06;B65G49/07
• 代理公司: 上海瀚橋專利代理事務所(普通合伙) 31261
• 代理人: 曹芳玲

1.一種基板搬送手的診斷系統，是具備連結在機器人手臂的手梢端部的基部及與所述基部結合且保持基板的基板保持部的基板搬送手的診斷系統，其特征在于：

具備

攝影機，固定于所述基部，拍攝所述基板保持部；

診斷裝置，取得所述攝影機拍攝的影像信息，基于該影像信息診斷所述基板保持部的健全性；所述診斷裝置，從所述影像信息，抽出包含于拍攝的影像的所述基板保持部的輪廓線，比較抽出的輪廓線的影像與事先存儲的健全的輪廓線的影像，基于所述抽出的輪廓線的離所述健全的輪廓線的偏差量，判斷所述基板保持部的健全性的有無。

2.根據權利要求1所述的基板搬送手的診斷系統，其特征在于，

所述診斷裝置，在判斷為沒有健全性時，基于所述偏差量，從事先存儲的變形的種類中選擇符合的種類。

3.根據權利要求2所述的基板搬送手的診斷系統，其特征在于，

所述診斷裝置，基于所述變形的種類與所述偏差量，判斷通過所述基板搬送手的軌道修正來進行矯正的可否，在可矯正時，算出軌道修正量后往所述機器人手臂的控制裝置輸出，在不可矯正時，將停止信號往所述機器人手臂的控制裝置輸出。

4.根據權利要求1所述的基板搬送手的診斷系統，其特征在于，

所述診斷裝置，比較包含于所述影像信息的所述基板保持部的影像與事先存儲的健全的所述基板保持部的影像，抽出兩影像的影像間變化，基于抽出的所述影像間變化，判斷所述基板保持部的健全性的有無。

5.根據權利要求1所述的基板搬送手的診斷系統，其特征在于，

所述攝影機，除了所述基板保持部外，也拍攝所述基部的一部分，

所述診斷裝置，抽出包含于所述影像信息的所述基部，比較抽出的所述基部的影像與事先存儲的健全的所述基部的影像，抽出兩影像的影像間變化，基于抽出的所述影像間變化，判斷相對于所述基部的所述攝影機的位置的變化的有無。

6.根據權利要求1所述的基板搬送手的診斷系統，其特征在于，

在所述基板搬送手以外的場所事先規定有基準點，

所述攝影機，在所述基板搬送手處于規定的位置與姿勢時，以所述基準點與所述基板保持部在該攝影機的視野范圍內的方式進行拍攝，

所述診斷裝置，將包含于所述影像信息的所述基準點及所述基板保持部的影像、健全的所述基準點及所述基板保持部的影像進行比較，抽出兩影像的影像間變化，基于抽出的所述影像間變化，判斷相對于所述基部的所述攝影機的位置的變化的有無。