[發明專利]超純水制造裝置

有效

• 申請號: 201780046687.4
• 申請日: 2017-03-16
• 公開（公告）號: CN109476509B
• 公開（公告）日: 2020-06-26
• 發明（設計）人: 堀井重希
• 申請（專利權）人: 栗田工業株式會社
• 主分類號: C02F1/00
• 分類號: C02F1/00;F24H1/00;F24H4/02
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 向勇

1.一種超純水制造裝置，該超純水制造裝置將被加熱過的超純水供給至使用點，其具備：

一次純水制造裝置；

二次純水制造裝置，對來自該一次純水制造裝置的一次純水進行處理來制造超純水；

第一熱交換器，用于對來自該二次純水制造裝置的超純水進行加熱，并以來自使用點的回流水作為熱源；

回流水返送系統，具備對通過該第一熱交換器后的該回流水進行冷卻的第二熱交換器，并將在該第二熱交換器中被冷卻過的回流水加入所述一次純水；和

加熱機構，對在該第一熱交換器中被加熱過的超純水進一步進行加熱；

其特征在于，

所述加熱機構具備：

第三熱交換器，在所述第一熱交換器中被加熱過的超純水被通入該第三熱交換器的被加熱流體流路中；

第一循環流路，使作為傳熱媒介的第一媒介水在該第三熱交換器的熱源流體流路中循環流通；和

加熱泵，對在該第一循環流路中流動的第一媒介水進行加熱；

其中：

該加熱泵，具備凝縮器、蒸發器、泵及膨張閥；

該凝縮器設置在所述第一循環流路上以便加熱該第一媒介水；

該蒸發器設置在循環有第二媒介水的第二循環流路上；

在該第二循環流路上，設置有用于利用溫排水的熱對第二媒介水進行加熱的第四熱交換器；

在比該第四熱交換器更靠上游側的第二循環流路上設置有所述第二熱交換器。

2.如權利要求1所述的超純水制造裝置，其特征在于，該超純水制造裝置設置有第五熱交換器，該第五熱交換器用于對在所述第三熱交換器中被加熱過的所述超純水進行加熱，并以蒸氣作為熱源。

3.如權利要求1或2所述的超純水制造裝置，其特征在于，在所述第一循環流路上設有第六熱交換器，該第六熱交換器用于對從所述凝縮器往第三熱交換器的第一媒介水進行加熱，并以蒸氣作為熱源。