[發(fā)明專利]電連接裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201780046510.4
• 申請日: 2017-07-18
• 公開（公告）號: CN109661583B
• 公開（公告）日: 2021-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 上林雅朝;赤平明久;久我智昭
• 申請（專利權(quán)）人: 日本麥可羅尼克斯股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

本發(fā)明提供一種電連接裝置，該電連接裝置(10)具有多個探針(20)、與多個探針(20)的基端部(20b)相連接的探針基板(16)以及用于在多個探針(20)的頂端部(20a)被按壓于被檢查體時防止多個探針(20)的相鄰的探針彼此間的干擾的探針支承體(18)，在該電連接裝置(10)中，探針支承體(18)具有板狀的引導(dǎo)部(30)，該板狀的引導(dǎo)部(30)具有供探針(20)貫穿的引導(dǎo)孔，引導(dǎo)部(30)包括上方引導(dǎo)部(31)、下方引導(dǎo)部(32)以及中間引導(dǎo)部(33)，探針(20)通過貫穿上方引導(dǎo)部(31)、中間引導(dǎo)部(33)以及下方引導(dǎo)部(32)的引導(dǎo)孔被向被檢查體引導(dǎo)，中間引導(dǎo)部(33)設(shè)為能夠在與厚度方向Y正交的正交方向X上移動。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種在以集成電路等為代表的被檢查體的電氣檢查中使用的垂直動作式探針卡等電連接裝置。

背景技術(shù)

制作于半導(dǎo)體晶圓中的許多集成電路通常在從該晶圓切斷、分離之前接受電氣檢查，檢查其是否具有規(guī)格書所述的性能。作為這種檢查使用的電連接裝置，存在一種應(yīng)用了多個探針的垂直動作式探針卡(例如參照專利文獻(xiàn)1)。

在垂直動作式探針卡中，從探針基板伸長的線狀的各探針經(jīng)由保持于探針基板的探針支承體被向下方的被檢查體引導(dǎo)。

探針支承體為了防止相鄰的探針間的接觸導(dǎo)致的電氣短路，以控制各探針的姿態(tài)的方式構(gòu)成，此外，以將各探針的頂端向被檢查體的對應(yīng)的電極墊引導(dǎo)的方式構(gòu)成。

此外，在這種探針支承體1中，如圖10的(a)所示，具有靠近探針基板2并在其下方與該探針基板平行地配置的板狀的上方引導(dǎo)部3、與該上方引導(dǎo)部3平行地配置的下方引導(dǎo)部5以及配置于上方引導(dǎo)部3與下方引導(dǎo)部5之間的板狀的中間引導(dǎo)部4。

如圖10的(a)所示，在各引導(dǎo)部3、4以及5中，為了由線狀金屬材料構(gòu)成的探針6而貫通地設(shè)置引導(dǎo)孔3a、4a以及5a。各探針6在各引導(dǎo)孔3a、4a以及5a中貫穿地配置。上方引導(dǎo)部3的引導(dǎo)孔3a將各探針6的上端部向探針基板2的對應(yīng)的連接墊(未圖示)引導(dǎo)。

中間引導(dǎo)部4和下方引導(dǎo)部5的各引導(dǎo)孔4a和5a彼此對齊，但排列于從上方引導(dǎo)部3的對應(yīng)的引導(dǎo)孔3a向一個方向偏離的位置。由此，如圖10的(a)所示，在上方引導(dǎo)部3與中間引導(dǎo)部4之間的各探針6形成有由彈性變形產(chǎn)生的彎曲部6a。此外，各探針6的從下方引導(dǎo)部5突出的各探針6的頂端部在中間引導(dǎo)部4和下方引導(dǎo)部5的兩個引導(dǎo)孔4a和5a的共同作用下，向被檢查體7的對應(yīng)的電極墊7a垂直地定向。

為了被檢查體7的電氣檢查，例如在使被檢查體7向探針基板2移動時，通過該移動，各探針6從對應(yīng)的電極墊7a受到圖10的(b)中箭頭8所示的上推力。各探針6在該上推力的作用下，將各探針6的頂端向探針基板2上推時，與之相伴隨地，各探針6的頂端部向上方移動。

此外，各探針6的基端通過固定于探針基板2而被限制移動。因此，在各探針6的頂端部被向探針基板2上推時，如圖10的(a)所示的在中間引導(dǎo)部4與上方引導(dǎo)部3之間形成于各探針6的彎曲部6a產(chǎn)生因如圖10的(b)所示的撓曲變形引起的較大的彎曲。包括該彎曲的大小和方向的姿態(tài)以彼此相同的方式被探針支承體1控制。

因而，各探針6彼此不會電氣短路，而是以其自身的彈性變形產(chǎn)生的適當(dāng)?shù)膹椈闪Ρ话磯河趯?yīng)的電極墊7a。此外，在被檢查體7離開時，各探針6的頂端部的按壓被解除，因此，各探針6彈性恢復(fù)為圖10的(a)的形狀。由此，使用垂直動作式探針卡能夠重復(fù)進(jìn)行被檢查體7的電氣檢查。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開平7-29838號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問題