[發明專利]基于聚有機硅氧烷的印模、其制造方法、其用于印刷工藝的用途以及利用其的壓印方法

有效

• 申請號: 201780046241.1
• 申請日: 2017-07-27
• 公開（公告）號: CN109600996B
• 公開（公告）日: 2021-11-30
• 發明（設計）人: M·A·維爾斯儲雷恩
• 申請（專利權）人: 皇家飛利浦有限公司
• 主分類號: B29C33/38
• 分類號: B29C33/38;B29C33/40;G03F7/00;B41N1/12;B29K83/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 柴麗敏

1.制造基于聚有機硅氧烷的印模(500)的方法，其包括：

提供包括轉印圖案表面(52)的母版(50)；

在轉印圖案表面上形成第一可固化組合物的第一層(100)，使得第一層包括所述轉印圖案的凹凸圖案，所述第一可固化組合物包括反應性支化聚有機硅氧烷、第一反應性線性聚有機硅氧烷、和第一濃度的催化劑，所述催化劑用于催化所述反應性支化聚有機硅氧烷和所述第一反應性線性聚有機硅氧烷的交聯，所述第一層具有第一厚度；

將所述第一層部分固化；

將第二可固化組合物的第二層(200)沉積到部分固化的第一層上，所述第二可固化組合物包括第二濃度的催化劑、第二反應性線性聚有機硅氧烷，其用于形成交聯的第二層，和用于通過與所述部分固化的第一層的反應性聚有機硅氧烷交聯將第二層粘合到第一層上，所述第二層具有第二厚度；其中，選擇所述第二厚度小于第一厚度，和/或選擇所述第二濃度等于或大于第一濃度；

將所述部分固化的第一層與第二層共固化以形成具有第一楊氏模量的固化的第一層，所述第一層粘合到具有第二楊氏模量的固化的第二層上，第二楊氏模量比第一楊氏模量小；

將第三可固化組合物的第三層(300)沉積到第二層上，所述第三可固化組合物包括第三反應性聚有機硅氧烷，其用于形成交聯的第三層，和用于通過與第二反應性線性聚有機硅氧烷交聯而將第三層粘合到固化的第二層上；和

固化所述第三層以形成與固化的第二層粘合的固化的第三層。

2.如權利要求1所述的方法，其中，所述第一厚度在5-70μm范圍內，和所述第一楊氏模量在30至100MPa范圍內。

3.如權利要求1所述的方法，其中，所述反應性支化聚有機硅氧烷包括乙烯基官能化支化聚有機硅氧烷、氫化物官能化支化聚有機硅氧烷、或二者的混合物；且所述第一反應性線性聚有機硅氧烷和所述第二反應性線性聚有機硅氧烷各自包括乙烯基官能化線性聚有機硅氧烷和氫化物官能化線性聚有機硅氧烷的混合物；和所述催化劑包括氫化硅烷化催化劑。

4.如權利要求3所述的方法，其中，所述氫化硅烷化催化劑包括鉑；和所述第一可固化組合物和所述第二可固化組合物各自進一步包括催化劑緩和劑，所述催化劑緩和劑包括環狀乙烯基官能化聚有機硅氧烷，任選地其中所述催化劑緩和劑包括根據式1、式2的環狀聚有機硅氧烷或其混合物：

5.如權利要求4所述的方法，其中，所述第二可固化組合物包括催化劑緩和劑，所述催化劑緩和劑的濃度等于或小于所述第一可固化組合物的催化劑緩和劑的濃度。

6.如權利要求1至5任一項所述的方法，其中，所述反應性支化聚有機硅氧烷包括T型支化聚有機硅氧烷、Q型支化聚有機硅氧烷、或其混合物，任選地，其中所述反應性支化聚有機硅氧烷包括根據式3、式4的聚有機硅氧烷，或其混合物；

其中m為3至13。

7.如權利要求1至5任一項所述的方法，其中，所述第二反應性線性聚有機硅氧烷包括含有末端乙烯基的線性聚有機硅氧烷，任選地其中該第二反應性線性聚有機硅氧烷包括根據式5的聚有機硅氧烷；

其中n為4至1000。

8.如權利要求1至5任一項所述的方法，其中，所述第二可固化組合物具有比第一可固化組合物低的粘度；任選地其中所述第二可固化組合物進一步包括揮發性稀釋劑，所述揮發性稀釋劑用于降低所述第二可固化組合物的粘度并且其在第二可固化組合物沉積期間和/或在共固化期間蒸發。

9.如權利要求1至5任一項所述的方法，其中，所述第三反應性聚有機硅氧烷包括另一混合物，所述另一混合物包括另一乙烯基官能化線性聚有機硅氧烷和另一氫化物官能化線性聚有機硅氧烷，和另一氫化硅烷化催化劑。

10.如權利要求1至5任一項所述的方法，其進一步包括將印模(500)固定到剛性載體(400)上；將第三層(300)布置在所述剛性載體和所述第二層(200)之間。