[發(fā)明專利]用于研究樣品的方法和顯微鏡

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201780020220.2
• 申請(qǐng)日: 2017-04-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108885336B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-12-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: W·克內(nèi)貝爾;F·法爾巴赫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 徠卡顯微系統(tǒng)復(fù)合顯微鏡有限公司
• 主分類號(hào): G02B21/36
• 分類號(hào): G02B21/36
• 代理公司: 北京泛華偉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11280
• 代理人: 王勇;王博

1.用于研究樣品的方法，其特征在于，同時(shí)在多個(gè)彼此不同的樣品平面(9、10、14)中分別沿一條照射線(7、11、13)分別利用一個(gè)照射光束(8、12、15)照射所述樣品，并且通過(guò)使用同一個(gè)探測(cè)物鏡(1)分別利用一個(gè)自己的探測(cè)PSF掃描每個(gè)沿照射線(7、11、13)照射的樣品區(qū)域并且同時(shí)且彼此在空間上分開(kāi)地探測(cè)來(lái)自照射的樣品區(qū)域的探測(cè)光，其中兩條相鄰的照射線(7、11、13)之間的距離大于在照射光束的平面中照射光束半徑與相鄰探測(cè)PSF半徑之和。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述樣品平面(9、10、14)彼此平行地定向。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，

a.所述照射線(7、11、13)在沿樣品平面(9、10、14)并且垂直于照射光束(8、12、15)的照射光傳播方向的方向上彼此錯(cuò)開(kāi)地設(shè)置，和/或

b.所述照射線(7、11、13)在沿樣品平面(9、10、14)并且垂直于探測(cè)物鏡(1)的光軸的方向上彼此錯(cuò)開(kāi)地設(shè)置，和/或

c.在來(lái)自利用照射線(7、11、13)照射的樣品區(qū)域的探測(cè)光束中未設(shè)置其它的照射線(7、11、13)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，連續(xù)地通過(guò)同步地平行移動(dòng)相應(yīng)的照射光束(8、12、15)以及相應(yīng)的探測(cè)PSF掃描每個(gè)所述樣品平面(9、10、14)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，

a.進(jìn)行共焦線探測(cè)，和/或

b.由在前面設(shè)置有狹縫光闌的探測(cè)器探測(cè)分別來(lái)自沿照射線(7、11、13)照射的樣品區(qū)域的探測(cè)光，和/或

c.由用作狹縫探測(cè)器的探測(cè)器探測(cè)分別來(lái)自沿照射線(7、11、13)照射的樣品區(qū)域的探測(cè)光，其中，所述狹縫探測(cè)器由面探測(cè)器的相應(yīng)激活的部分構(gòu)成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，每個(gè)照射的樣品區(qū)域配設(shè)有一個(gè)自己的探測(cè)器，或每個(gè)照射的樣品區(qū)域在一個(gè)共同的面探測(cè)器上配設(shè)有一個(gè)自己的探測(cè)區(qū)域。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，來(lái)自樣品的探測(cè)光根據(jù)其產(chǎn)生的位置借助至少一個(gè)分束器(20、21)被分配到不同的探測(cè)光束路徑分支上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，

a.同時(shí)至少沿兩條相鄰的照射線(7、11、13)利用光片(19)代替分別利用一個(gè)自己的照射光束(8、12、15)照射樣品，和/或

b.同時(shí)至少沿兩條相鄰的照射線(7、11、13)利用光片(19)代替分別利用一個(gè)自己的照射光束(8、12、15)照射樣品，其中，所述兩條相鄰的照射線(7、11、13)的距離大于相鄰探測(cè)PSF半徑(δ)與所述光片的沿垂直于光傳播方向的樣品平面的方向一半尺寸之和。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，

a.借助照射物鏡(40)聚焦照射光并且來(lái)自樣品的探測(cè)光穿過(guò)探測(cè)物鏡(1)，其中，照射物鏡(40)的光軸和探測(cè)物鏡(1)的光軸設(shè)置在彼此垂直的平面中，或

b.借助照射物鏡(40)聚焦照射光并且來(lái)自樣品的探測(cè)光穿過(guò)探測(cè)物鏡(1)，其中，照射物鏡(40)的光軸和探測(cè)物鏡(1)的光軸彼此平行地或同軸地定向。

10.顯微鏡，其特征在于具有一種照射裝置，該照射裝置具有照射物鏡(40)并且該照射裝置構(gòu)造用于同時(shí)在多個(gè)彼此不同的樣品平面(9、10、14)中分別沿一條照射線(7、11、13)分別利用一個(gè)照射光束(8、12、15)照射樣品，并且具有一種探測(cè)裝置，該探測(cè)裝置具有探測(cè)物鏡(1)和至少一個(gè)探測(cè)器，并且該探測(cè)裝置構(gòu)造用于通過(guò)使用同一個(gè)探測(cè)物鏡(1)分別利用一個(gè)自己的探測(cè)PSF掃描每個(gè)沿照射線(7、11、13)照射的樣品區(qū)域并且同時(shí)且彼此在空間上分開(kāi)地探測(cè)來(lái)自照射的樣品區(qū)域的探測(cè)光，其中兩條相鄰照射線(7、11、13)之間的距離大于在照射光束的平面中照射光束半徑(ρ)與相鄰探測(cè)PSF半徑(δ)之和。