[發(fā)明專利]有機(jī)金屬化合物及其方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201780010791.8 | 申請(qǐng)日： | 2017-02-10 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN109588049A | 公開(kāi)（公告）日： | 2019-04-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | R·奧德薩;C·董;S·森貝拉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 海星化學(xué)有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C07F7/04 | 分類(lèi)號(hào)： | C07F7/04;C23C16/40;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京從真律師事務(wù)所 11735 | 代理人： | 程義貴 |
| 地址： | 加拿大英屬*** | 國(guó)省代碼： | 加拿大;CA |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 個(gè)碳原子 環(huán)烷基 自由 有機(jī)金屬化合物 等離子體輔助 沉積金屬氧化物 本發(fā)明化合物 化學(xué)氣相沉積 原子層沉積 氮原子 低溫氣 前驅(qū)體 自由基 可用 雜環(huán) 沉積 薄膜 | ||
1.式1的有機(jī)金屬化合物：
(A)X-M-(OR3)4-x
其中：
A選自由-NR1R2、-N(R4)(CH2)nN(R5R6)、-N＝C(NR4R5)(NR6R7)、OCOR1、鹵素和Y組成的組；
R1和R2獨(dú)立地選自由H和具有1至8個(gè)碳原子的環(huán)狀或無(wú)環(huán)烷基組成的組，條件是R1和R2中的至少一個(gè)必須不是H；
R4，R5，R6和R7獨(dú)立地選自由H和具有1至4個(gè)碳原子的無(wú)環(huán)烷基組成的組；
Y選自由含有至少一個(gè)氮原子的3-至13-元雜環(huán)自由基組成的組；
R3是具有1至6個(gè)碳原子的環(huán)狀或無(wú)環(huán)烷基；
M選自由Si、Ge、Sn、Ti、Zr和Hf組成的組；
x是1至3的整數(shù)；以及
n是1至4的整數(shù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化合物，其中M選自由Si、Ge和Sn組成的組。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化合物，其中M是Si。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的化合物，其中A選自由-NR1R2、-N(R4)(CH2)nN(R5R6)、-N＝C(NR4R5)(NR6R7)、OCOR1、鹵素和Y組成的組。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的化合物，其中A選自由醋酸鹽、四乙基胍基、二甲基乙二胺基、溴、碘、-NR1R2和Y組成的組。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的化合物，其中A是-NR1R2。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的化合物，其中R1和R2獨(dú)立地選自由H和具有1至4個(gè)碳原子的無(wú)環(huán)烷基組成的組。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的化合物，其中R1和R2獨(dú)立地選自由甲基、乙基和異丁基組成的組。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的化合物，其中A是Y。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的化合物，其中Y選自由吖丙啶基、氮雜環(huán)丁烷基、吡咯烷基、吡咯基、哌啶基、吡啶基、氮雜環(huán)庚烷基或氮雜環(huán)庚三烯基組成的組。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的化合物，其中Y選自由吖丙啶基(aziridinyl)、氮雜環(huán)丁烷基和吡咯烷基組成的組。
12.根據(jù)權(quán)利要求8或11所述的化合物，其中R1和R2獨(dú)立地選自由H和具有1至8個(gè)碳原子的環(huán)狀或無(wú)環(huán)烷基組成的組，條件是R1和R2中的至少一個(gè)必須不是H。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的化合物，其中R1和R2獨(dú)立地選自由H和具有1至4個(gè)碳原子的無(wú)環(huán)烷基組成的組。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于海星化學(xué)有限公司，未經(jīng)海星化學(xué)有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買(mǎi)此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201780010791.8/1.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專利網(wǎng)。
