[實用新型]一種光伏硅片用快速傳輸的組合系統有效
| 申請號: | 201721920460.1 | 申請日: | 2017-12-29 |
| 公開(公告)號: | CN207489840U | 公開(公告)日: | 2018-06-12 |
| 發明(設計)人: | 馬丁 | 申請(專利權)人: | 賽能自動化技術(蘇州)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 楊慧林;馮瑞 |
| 地址: | 215000 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 光伏硅片 快速傳輸 組合系統 本實用新型 花籃 鐳射雕刻 傳輸 上料 上料傳輸裝置 移動定位裝置 上下料裝置 傳輸裝置 摩擦損傷 依次設置 氣懸浮 上下料 硅片 可用 空載 滿載 取出 移動 | ||
1.一種光伏硅片用快速傳輸的組合系統,包括一個整體的機架,其特征在于,所述機架上依次設置的用于對滿載光伏硅片的花籃和空載光伏硅片的花籃進行上下料的上下料裝置、用于取出花籃內光伏硅片的上料傳輸裝置、用于對移動中光伏硅片進行定位的移動定位裝置以及用于對進行鐳射雕刻的光伏硅片進行傳輸的氣懸浮傳輸裝置。
2.如權利要求1所述的一種光伏硅片用快速傳輸的組合系統,其特征在于,所述上下料裝置包括設置在機架上對花籃進行升降的升降機構,所述升降機構上方的機架上設有對花籃進行抓取移動的抓取裝置,所述升降機構上端部對應的機架上設有輸送花籃的輸送裝置一,所述升降機構下端部對應的機架上設有輸送花籃的輸送裝置二,所述升降機構下端部設有與輸送裝置二對應的推送裝置。
3.如權利要求1所述的一種光伏硅片用快速傳輸的組合系統,其特征在于,所述上料傳輸裝置包括設置在機架上安裝架,所述安裝架上設有伸縮驅動裝置,所述伸縮驅動裝置兩側以及對應的安裝架之間分別設有傳送組,兩側的傳送組同步傳動。
4.如權利要求1所述的一種光伏硅片用快速傳輸的組合系統,其特征在于,所述移動定位裝置包括在機架上依次設置的用于傳輸光伏硅片的輸送裝置三、對光伏硅片在輸送過程中進行調整傳輸方向的輸送調整裝置,位于所述輸送調整裝置一側設有對光伏硅片進行定位輸送的定位輸送裝置。
5.如權利要求1所述的一種光伏硅片用快速傳輸的組合系統,其特征在于,所述氣懸浮傳輸裝置包括在機架上設置的傳輸裝置一和傳輸裝置二,所述傳輸裝置一和所述傳輸裝置二之間傾斜設置有傳輸氣墊組,位于所述傳輸裝置一一側和所述傳輸裝置二一側皆傾斜設有多個噴嘴,位于所述傳輸氣墊組的低位一側設有傳輸裝置三。
6.如權利要求2所述的一種光伏硅片用快速傳輸的組合系統,其特征在于,所述升降機構包括設置在機架上的支架,所述支架上架設有至少兩組對稱設置且同步傳動的升降傳輸裝置,所有所述升降傳輸裝置通過支架上的電機一同時帶動,每組所述升降傳輸裝置包括頂部、中部和底部的至少三組滾輪組,每組滾輪組由至少兩個同軸連接的滾輪組成,所有滾輪組之間相對應的同一側的滾輪之間皆通過傳輸帶一傳動,兩側所述傳輸帶一上并排設有至少四個掛板,相鄰所述掛板之間的所述兩根傳輸帶一之間設有至少一根檔桿,每個所述掛板底部皆設有至少兩個滑動輪,所述抓取裝置包括安裝在升降機構上方的機架上的頂板,所述頂板底部設有夾爪,所述夾爪通過一側的推送氣缸一和頂部的升降氣缸一進行推動移動和升降,所述推送裝置設置在兩組所述升降傳輸裝置之間底部的所述支架上,所述推送裝置包括底板一,所述底板一上設有推送氣缸二,所述推送氣缸二推動一側的滑板移動,所述滑板上設有升降氣缸二,所述升降氣缸二帶動頂部的支撐板升降,所述輸送裝置一包括設置在機架上的兩側的傳輸帶二,兩側的所述傳輸帶二通過底部的電機二同步帶動,所述輸送裝置一和所述輸送裝置二結構相同。
7.如權利要求3所述的一種光伏硅片用快速傳輸的組合系統,其特征在于,所述安裝架包括固定在機架上用于安裝伸縮驅動裝置的底板二,所述底板二兩側皆設有側板,所述伸縮驅動裝置包括安裝板一,所述安裝板一安裝在無桿氣缸上,所述無桿氣缸安裝在安裝架上,每側的所述傳送組包括設置在所述伸縮驅動裝置一側以及安裝架之間的滾輪組一,所述滾輪組一之間繞有傳輸帶三,所述滾輪組一包括安裝在所述伸縮驅動裝置一側的滾輪一和滾輪二、與安裝架連接的滾輪三和張緊輪,所述滾輪三通過軸一與安裝架活動連接,所述安裝架一側設有帶動軸一轉動的電機三。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





