[實用新型]一種可改變硅片進(jìn)出方向的硅片盒有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721855114.X | 申請日: | 2017-12-26 |
| 公開(公告)號: | CN207883666U | 公開(公告)日: | 2018-09-18 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 金重玄 | 申請(專利權(quán))人: | 杭州大和熱磁電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 杭州杭誠專利事務(wù)所有限公司 33109 | 代理人: | 尉偉敏;方琦 |
| 地址: | 310053 浙江省杭*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 片板 硅片 活動式裝 硅片盒 裝片 固定式裝 底板 本實用新型 可改變 蓋板 硅片切割 進(jìn)出通道 開口方向 相鄰設(shè)置 旋轉(zhuǎn)開啟 旋轉(zhuǎn)軸線 水平狀 折疊 插設(shè) 圍合 加工 | ||
本實用新型公開了一種可改變硅片進(jìn)出方向的硅片盒,包括底板和蓋板、置于底板和蓋板之間的裝片板,裝片板為四件,包括兩件固定式裝片板和兩件活動式裝片板,兩件固定式裝片板呈90°相鄰設(shè)置,活動式裝片板以其自身一側(cè)的軸線為旋轉(zhuǎn)軸線,四件裝片板分別對應(yīng)且圍合硅片盒的四個開口方向,裝片板上設(shè)有水平狀溝槽,硅片插設(shè)于溝槽內(nèi),本實用新型的硅片盒采用活動式裝片板和固定式裝片板的配合使用,通過活動式裝片板的旋轉(zhuǎn)開啟和折疊,形成了硅片進(jìn)出通道的改變,進(jìn)而改變硅片切割痕方向,提高了硅片的加工質(zhì)量。
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及到一種太陽能電池制造領(lǐng)域,尤其涉及到一種可改變硅片進(jìn)出方向的硅片盒。
背景技術(shù)
目前絕大部分太陽能電池用硅片是由硅棒切割而成硅片,切割時會在硅片表面形成切割痕,切割痕一般有 5~15um 不等的深度。
在硅基太陽能電池片生產(chǎn)過程中,很多工序如表面織構(gòu)化、表面鍍膜、表面金屬漿料印刷等工序中,硅片表面切割痕會對工序的結(jié)果產(chǎn)生一定影響,導(dǎo)致生產(chǎn)的產(chǎn)品在外觀或性能方面會產(chǎn)生差異,影響產(chǎn)品質(zhì)量。
為減少切割痕對產(chǎn)品造成的差異,最好能在生產(chǎn)過程中對硅片的方向進(jìn)行控制,使每個工序都能夠在受切割方向影響較小的硅片方向進(jìn)行生產(chǎn)。
但是目前常用的硅片盒,如圖 1 和圖 2 所示,硅片盒的裝片板面對面固定設(shè)置,硅片盒后部設(shè)有擋桿對硅片進(jìn)行定位,硅片進(jìn)入硅片盒和從硅片盒取出都只能保持同一方向,不能對硅片的方向進(jìn)行改變,在需要對硅片進(jìn)行方向改變時只能采用專門的可旋向的導(dǎo)片機(jī)對硅片進(jìn)行轉(zhuǎn)向作業(yè),既增加了硅片生產(chǎn)流程,又容易在導(dǎo)片過程中對硅片表面造成新的接觸污染,降低產(chǎn)品性能。
實用新型內(nèi)容
本實用新型主要解決現(xiàn)有硅片盒無法進(jìn)行硅片轉(zhuǎn)向的技術(shù)問題;提供了一種可改變硅片進(jìn)出方向的硅片盒。
為了解決上述存在的技術(shù)問題,本實用新型主要是采用下述技術(shù)方案:
本實用新型的一種可改變硅片進(jìn)出方向的硅片盒,用于硅片的轉(zhuǎn)向控制,所述硅片盒包括平行設(shè)置的底板和蓋板、置于底板和蓋板之間且垂直于底板內(nèi)表面的裝片板,所述裝片板為四件,包括兩件固定式裝片板和兩件活動式裝片板,所述兩件固定式裝片板呈90°相鄰設(shè)置,固定式裝片板的底部固置于所述底板的內(nèi)表面上,固定式裝片板的頂部固置于所述蓋板的內(nèi)表面上,活動式裝片板以其自身一側(cè)的軸線為旋轉(zhuǎn)軸線,所述旋轉(zhuǎn)軸線位于固定裝片板的遠(yuǎn)端位,折疊位的活動式裝片板貼近對應(yīng)的固定式裝片板背面,打開位的活動式裝片板則與對應(yīng)的固定式裝片板呈90°相鄰設(shè)置,兩兩對應(yīng)的四件裝片板分別對應(yīng)且圍合硅片盒的四個開口方向,裝片板上設(shè)有上下排布的水平狀溝槽,四個裝片板上的相應(yīng)溝槽形成水平狀的硅片容置槽,所述硅片插設(shè)于所述硅片容置槽內(nèi)且擱置于所述溝槽上,硅片盒采用活動式裝片板和固定式裝片板的配合使用,通過活動式裝片板的旋轉(zhuǎn)開啟和折疊,形成了硅片進(jìn)出通道的改變,使硅片盒內(nèi)的硅片可按工藝要求靈活選擇進(jìn)出的通道,進(jìn)而改變硅片切割痕的方向,提高了硅片的加工質(zhì)量,也防止了硅片的接觸污染。
作為優(yōu)選,所述固定式裝片板的遠(yuǎn)端側(cè)邊中部設(shè)有鉸鏈,所述鉸鏈的一個頁板與上述固定式裝片板固接,與上述固定式裝片板對應(yīng)的活動式裝片板則與鉸鏈的另一頁板固接,上述活動式裝片板以鉸鏈中心線為旋轉(zhuǎn)軸線,在固定式裝片板和活動式裝片板之間設(shè)置鉸鏈,使得活動式裝片板可以以鉸鏈中心線為軸線旋轉(zhuǎn),方便構(gòu)成不同方向的硅片進(jìn)出通道。
作為優(yōu)選,所述固定式裝片板的遠(yuǎn)端設(shè)有垂直于所述底板內(nèi)表面的轉(zhuǎn)軸,所述轉(zhuǎn)軸底端設(shè)于底板內(nèi)表面上,轉(zhuǎn)軸頂端設(shè)于蓋板內(nèi)表面上,所述活動式裝片板通過連接板與轉(zhuǎn)軸固接且以轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)軸線,活動式裝片板通過轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動,在需要的時候可打開轉(zhuǎn)出,與固定式裝片板一起承載插入的硅片,而在硅片需要進(jìn)出通道時,又可轉(zhuǎn)回至折疊位,空出相應(yīng)的通道供硅片進(jìn)出。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





