[實用新型]一種可改變硅片進出方向的硅片盒

有效

• 申請號: 201721855114.X
• 申請日: 2017-12-26
• 公開（公告）號: CN207883666U
• 公開（公告）日: 2018-09-18
• 發明（設計）人: 金重玄
• 申請（專利權）人: 杭州大和熱磁電子有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L31/18
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109
• 代理人: 尉偉敏;方琦

1.一種可改變硅片進出方向的硅片盒，用于硅片(1)的轉向控制，其特征在于：所述硅片盒包括平行設置的底板(2)和蓋板(3)、置于底板和蓋板之間且垂直于底板內表面的裝片板，所述裝片板為四件，包括兩件固定式裝片板(4)和兩件活動式裝片板(5)，所述兩件固定式裝片板呈90°相鄰設置，固定式裝片板的底部固置于所述底板的內表面上，固定式裝片板的頂部固置于所述蓋板的內表面上，活動式裝片板以其自身一側的軸線為旋轉軸線，所述旋轉軸線位于固定裝片板的遠端位，折疊位的活動式裝片板貼近對應的固定式裝片板背面，打開位的活動式裝片板則與對應的固定式裝片板呈90°相鄰設置，兩兩對應的四件裝片板分別對應且圍合硅片盒的四個開口方向，裝片板上設有上下排布的水平狀溝槽(6)，四個裝片板上的相應溝槽形成水平狀的硅片容置槽，所述硅片插設于所述硅片容置槽內且擱置于所述溝槽上。

2.根據權利要求1所述的一種可改變硅片進出方向的硅片盒，其特征在于：所述固定式裝片板(4)的遠端側邊中部設有鉸鏈(7)，所述鉸鏈的一個頁板與上述固定式裝片板固接，與上述固定式裝片板對應的活動式裝片板(5)則與鉸鏈的另一頁板固接，上述活動式裝片板以鉸鏈中心線為旋轉軸線。

3.根據權利要求1所述的一種可改變硅片進出方向的硅片盒，其特征在于：所述固定式裝片板(4)的遠端設有垂直于所述底板內表面的轉軸(8)，所述轉軸底端設于底板(2)內表面上，轉軸頂端設于蓋板(3)內表面上，所述活動式裝片板(5)通過連接板與轉軸固接且以轉軸為旋轉軸線。

4.根據權利要求1或2或3所述的一種可改變硅片進出方向的硅片盒，其特征在于：所述底板(2)和蓋板(3)上均設有對應的定位孔(9)，所述定位孔分別對應所述活動式裝片板(5)的折疊位和打開位，所述定位孔內嵌設有定位銷。