[實用新型]一種基于LED晶圓裂片的浮動劈刀裝置

有效

• 申請號: 201721842153.6
• 申請日: 2017-12-26
• 公開（公告）號: CN207781569U
• 公開（公告）日: 2018-08-28
• 發明（設計）人: 楊志偉
• 申請（專利權）人: 江陰德力激光設備有限公司
• 主分類號: H01L21/78
• 分類號: H01L21/78;H01L33/00
• 代理公司: 江陰市揚子專利代理事務所(普通合伙) 32309
• 代理人: 隋玲玲

1.一種基于LED晶圓裂片的浮動劈刀裝置，其特征在于：所述裝置包含有安裝于裂片運動軸上方的浮動刀架直線導軌，架設于浮動刀架直線導軌上的是刀架底板，刀架底板上設有調刀螺栓，所述浮動刀架底板上方設置有刀架彈簧限位架，限位架通過浮動刀架彈簧對刀架位移量起限制作用；浮動刀架彈簧定位調整螺栓用于調節位移量。

2.如權利要求1所述一種基于LED晶圓裂片的浮動劈刀裝置，其特征在于：上述浮動刀架安裝于裂片軸上板上。

3.如權利要求1所述一種基于LED晶圓裂片的浮動劈刀裝置，其特征在于：所述裝置包含有主基座（1），主基座（1）上安裝有裂片軸基座（2），裂片軸電機（3）安裝于裂片軸基座（2）上，裂片軸電機（3）通過絲桿帶動裂片運動軸上板（4）通過裂片運動軸滑塊（5）做上下運動，裂片運動軸上板（4）上安裝有浮動刀架滑塊（6）以及浮動刀架彈簧限位架（7），浮動刀架（8）安裝于浮動刀架滑塊（6）上，浮動刀架（8）通過浮動刀架彈簧（11）對刀架位移量起限制作用，裂片劈刀（9）安裝于浮動刀架 （8）上通過刀架上的調刀螺栓對劈刀進行微調，浮動刀架彈簧定位調整螺栓（12）以浮動刀架彈簧限位架為基準用于調節浮動刀架劈裂位移量，氣動擊錘（13）在裂片過程中配合浮動刀架釋放彈簧儲備的預應力。