[實(shí)用新型]一種真空冷卻新型工裝

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721812025.7
• 申請(qǐng)日: 2017-12-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207672121U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-07-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱磊;張石亮
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 安徽立光電子材料股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/58
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/58
• 代理公司: 南京眾聯(lián)專(zhuān)利代理有限公司 32206
• 代理人: 顧進(jìn)

本實(shí)用新型提供了一種真空冷卻新型工裝，包括真空箱，真空箱包括箱體和箱蓋，箱蓋與箱體鉸接，箱蓋內(nèi)側(cè)開(kāi)設(shè)有空槽，箱蓋的空槽內(nèi)以及箱體的內(nèi)腔中分別設(shè)有第一冷卻裝置和第二冷卻裝置，第一冷卻裝置包括第一水平氣缸以及豎直設(shè)置的第一冷卻板和第一支撐板，第二冷卻裝置包括第二水平氣缸以及豎直設(shè)置的第二冷卻板和第二支撐板。本實(shí)用新型的有益效果在于：整體結(jié)構(gòu)新穎，通過(guò)在箱蓋以及箱體內(nèi)分別設(shè)置第一冷卻裝置和第二冷卻裝置，實(shí)現(xiàn)對(duì)需要退火冷卻處理的玻璃兩側(cè)進(jìn)行有效冷卻降溫，大大提高了冷卻效率；冷卻裝置中采用水平氣缸，使得冷卻裝置上的蛇形管和冷卻板可較好的貼近玻璃的兩側(cè)表面，提高玻璃與蛇形管和冷卻板的熱量交換，提高冷卻效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及冷卻工裝技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種真空冷卻新型工裝。

背景技術(shù)

真空磁控濺射技術(shù)是指一種利用陰極表面配合的磁場(chǎng)形成電子陷阱，使在E×B的作用下電子緊貼陰極表面飄移。設(shè)置一個(gè)與靶面電場(chǎng)正交的磁場(chǎng)，濺射時(shí)產(chǎn)生的快電子在正交的電磁場(chǎng)中作近似擺線運(yùn)動(dòng)，增加了電子行程，提高了氣體的離化率，同時(shí)高能量粒子與氣體碰撞后失去能量，基體溫度較低，在不耐溫材料上可以完成鍍膜。這種技術(shù)是目前玻璃膜技術(shù)中的最尖端技術(shù)，是由航天工業(yè)、兵器工業(yè)、和核工業(yè)三個(gè)方面相結(jié)合的頂尖技術(shù)的民用化，目前民用主要是通過(guò)這種技術(shù)達(dá)到節(jié)能、環(huán)保等作用。

目前，在真空磁控濺射鍍膜工藝過(guò)程中，需要對(duì)鍍完膜的玻璃膜層進(jìn)行退火處理，但正常真空箱體內(nèi)冷卻不充分，冷卻效果較差。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明公開(kāi)了一種真空冷卻新型工裝，通過(guò)在真空箱內(nèi)增加冷卻系統(tǒng)，提高對(duì)玻璃的冷卻效果。

為了達(dá)到以上目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種真空冷卻新型工裝，包括真空箱，所述真空箱包括箱體和箱蓋，所述箱蓋與箱體相適配，且箱蓋與箱體鉸接，其特征在于：所述箱蓋內(nèi)側(cè)開(kāi)設(shè)有空槽，所述箱蓋的空槽內(nèi)以及箱體的內(nèi)腔中分別設(shè)有第一冷卻裝置和第二冷卻裝置，所述第一冷卻裝置包括第一水平氣缸以及豎直設(shè)置的第一冷卻板和第一支撐板，所述第一水平氣缸設(shè)置在箱蓋外側(cè)中部，其活塞桿穿過(guò)箱蓋與第一支撐板后側(cè)中部連接，所述第一冷卻板安裝在第一支撐板前側(cè)，且第一冷卻板前側(cè)面上設(shè)有第一蛇形管，所述第一蛇形管的一端接第一進(jìn)水管，另一端接第一出水管；所述第二冷卻裝置包括第二水平氣缸以及豎直設(shè)置的第二冷卻板和第二支撐板，所述第二水平氣缸設(shè)置在箱體外側(cè)中部，其活塞桿穿過(guò)箱體與第二支撐板后側(cè)中部連接，所述第二冷卻板安裝第二支撐板前側(cè)，且第二冷卻板前側(cè)面上設(shè)有第二蛇形管，所述第二蛇形管的一端接第二進(jìn)水管，另一端接第二出水管。

進(jìn)一步的，所述箱體內(nèi)還設(shè)有玻璃夾持裝置，所述玻璃夾持裝置設(shè)置在第二冷卻裝置前側(cè)，包括上下設(shè)置的上夾具和下夾具，所述上夾具和下夾具分別設(shè)置在箱體內(nèi)腔的上下面上。

進(jìn)一步的，所述上夾具的前后兩側(cè)以及下夾具的前后兩側(cè)均設(shè)有限位塊。

進(jìn)一步的，所述第一冷卻板與第一支撐板之間以及第二冷卻板與第二支撐板之間均設(shè)有緩沖墊。

進(jìn)一步的，所述緩沖墊為橡膠緩沖墊。

進(jìn)一步的，所述第一冷卻板和第二冷卻板均為銅板。

進(jìn)一步的，所述第一蛇形管和第二蛇形管均為銅管。

進(jìn)一步的，所述箱體內(nèi)還設(shè)有測(cè)溫儀。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果在于：整體結(jié)構(gòu)新穎，通過(guò)在箱蓋以及箱體內(nèi)分別設(shè)置第一冷卻裝置和第二冷卻裝置，實(shí)現(xiàn)對(duì)需要退火冷卻處理的玻璃兩側(cè)進(jìn)行有效冷卻降溫，大大提高了冷卻效率；冷卻裝置中采用水平氣缸，使得冷卻裝置上的蛇形管和冷卻板可較好的貼近玻璃的兩側(cè)表面，提高玻璃與蛇形管和冷卻板的熱量交換，提高冷卻效率。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明一種真空冷卻新型工裝的結(jié)構(gòu)示意圖。