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[實用新型]一種大氣壓低功率微波發卡共振放電器有效

專利信息
申請號: 201721811429.4 申請日: 2017-12-21
公開(公告)號: CN207589257U 公開(公告)日: 2018-07-06
發明(設計)人: 涂一烺;陳兆權;趙衛東;馮德仁 申請(專利權)人: 安徽工業大學
主分類號: H05H1/46 分類號: H05H1/46
代理公司: 合肥順超知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 34120 代理人: 謝永
地址: 243002 *** 國省代碼: 安徽;34
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 石英管 載氣 功率放大器 輸入端 微波信號發生器 本實用新型 微波功率計 功率微波 脈沖信號 調制器 放電器 共振 發卡 微波 等離子體羽流 放電等離子 放電驅動器 電性連接 發夾形狀 放電現象 工作氣體 功率輸出 拱形圖案 共振電極 脈沖頻率 電連接 接地銅 膠膜 清晰 觀察
【權利要求書】:

1.一種大氣壓低功率微波發卡共振放電器,其特征在于:包括脈沖信號調制器(1)、微波信號發生器(2)、功率放大器(3)、微波功率計(4)、石英管(5),U型金屬絲(6)、接地銅膠膜(7)以及載氣輸入端(8),所述石英管(5)內的所述U型金屬絲(6)分別電性連接所述微波功率計(4)和所述功率放大器(3),所述功率放大器(3)分別電性連接所述脈沖信號調制器(1)以及所述微波信號發生器(2),所述石英管(5)的一端為所述載氣輸入端(8)。

2.根據權利要求1所述的大氣壓低功率微波發卡共振放電器,其特征在于:所述U型金屬絲(6)的總長度為94mm,且供電端位于距離所述U型金屬絲(6)的開口端31mm的位置。

3.根據權利要求1所述的大氣壓低功率微波發卡共振放電器,其特征在于:所述U型金屬絲(6)的直徑為0.4mm,所述U型金屬絲(6)的兩根銅線之間的間隔為2mm;所述U型金屬絲(6)的尖端削尖至0.05mm。

4.根據權利要求1所述的大氣壓低功率微波發卡共振放電器,其特征在于:發卡共振放電器的接地電極是一片黏貼在石英管外表面周圍的所述接地銅膠膜(7)。

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