[實用新型]一種面板缺陷檢查裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721802457.X
• 申請日: 2017-12-21
• 公開（公告）號: CN207600973U
• 公開（公告）日: 2018-07-10
• 發(fā)明（設計）人: 王文;楊慎東;郭連俊
• 申請（專利權）人: 蘇州精瀨光電有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 武漢開元知識產(chǎn)權代理有限公司 42104
• 代理人: 黃行軍

1.一種面板缺陷檢查裝置，包括沿Z向分置于待檢測面板兩側的顯微鏡(1)和光源(2)，其特征在于：還包括X向滑移機構和Y向滑移機構；所述的Y向滑移機構滑動連接于所述X向滑移機構；所述的顯微鏡(1)與光源(2)滑動連接于所述Y向滑移機構；所述的Y向滑移機構上設置有在顯微鏡(1)與光源(2)沿Y向移動過程中保持顯微鏡(1)與光源(2)始終處于兩兩相對的同步狀態(tài)的聯(lián)動機構；所述的X向、Y向和Z向兩兩垂直相交。

2.如權利要求1所述的一種面板缺陷檢查裝置，其特征在于：所述的聯(lián)動機構包括固定在Y向滑移機構上的光源滑軌(3)；所述的光源滑軌(3)沿Y向水平布置；所述的光源(2)滑動連接于光源滑軌(3)上，通過第一電機驅(qū)動沿光源滑軌(3)移動。

3.如權利要求2所述的一種面板缺陷檢查裝置，其特征在于：所述的光源(2)與光源滑軌(3)之間設置有在光源(2)滑移到超出面板檢測范圍時控制第一電機停止驅(qū)動光源(2)移動的到位機構。

4.如權利要求3所述的一種面板缺陷檢查裝置，其特征在于：所述的到位機構包括固定在光源(2)X向側部的感應片(4)和固定在光源滑軌(3)上與感應片(4)同側的底座(5)；所述的底座(5)上安裝有兩片沿X向間隔布置的豎板(6)；所述的兩塊豎板(6)之間布置有傳感器；所述的感應片(4)在跟隨光源(2)滑移到超出面板檢測范圍時穿過兩片豎板(6)之間的間隙。

5.如權利要求1所述的一種面板缺陷檢查裝置，其特征在于：所述的X向滑移機構包括兩條分置于待檢測面板Y向兩側的X向?qū)к?7)，光源滑軌(3)可沿X向移動地布置于兩條X向?qū)к?7)之間。

6.如權利要求5所述的一種面板缺陷檢查裝置，其特征在于：所述的Y向滑移機構包括龍門架(8)；所述的龍門架(8)Y向兩端滑動連接于X向?qū)к?7)上，龍門架(8)上設置有沿Y向水平布置的Y向?qū)к?9)；所述的光源滑軌(3)固定在龍門架(8)上；所述的顯微鏡(1)滑動連接于Y向?qū)к?9)上通過第二電機驅(qū)動沿Y向移動；所述的第二電機與第一電機同步。

7.如權利要求6所述的一種面板缺陷檢查裝置，其特征在于：所述的顯微鏡(1)包括滑動連接于Y向?qū)к壣系闹Ъ?10)和物鏡；所述的支架(10)上安裝有沿Z向布置的Z向軌道(11)；所述的Z向軌道(11)上設置有沿水平X向布置的X向軌道(12)；所述的X向軌道(12)滑動連接于Z向軌道(11)；所述的物鏡滑動連接于X向軌道(12)。

8.如權利要求7所述的一種面板缺陷檢查裝置，其特征在于：所述的顯微鏡(1)包括多個不同倍率的物鏡。

9.如權利要求1所述的一種面板缺陷檢查裝置，其特征在于：所述的光源(2)為可調(diào)節(jié)亮度的可調(diào)光源，調(diào)節(jié)光源亮度的旋鈕(13)位于光源(2)Y向側部。