[實用新型]一種高可靠的研磨機關(guān)停控制裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721782410.1
• 申請日: 2017-12-19
• 公開（公告）號: CN207746880U
• 公開（公告）日: 2018-08-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 郭彬;潘凌鋒;陳一信;陳浙泊
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江大學臺州研究院
• 主分類號: B24B37/013
• 分類號: B24B37/013;B24B37/005;B24B49/10
• 代理公司: 杭州天昊專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33283
• 代理人: 董世博

本實用新型公開了一種高可靠的研磨機關(guān)停控制裝置，包括測頻系統(tǒng)研磨機控制電路模塊、連接口、兩個串聯(lián)的研磨機關(guān)停控制器、研磨機；所述測頻系統(tǒng)控制電路模塊與兩個串聯(lián)的研磨機關(guān)停控制器通過連接口連接，所述研磨機與兩個串聯(lián)的研磨機關(guān)停控制器通過電性連接；所述研磨機關(guān)停控制器為固態(tài)繼電器或光電耦合器；所述測頻系統(tǒng)控制電路模塊包括研磨機控制輸出自檢模塊、研磨機控制自檢模塊和關(guān)停研磨機控制模塊；本實用新型提供了一種可靠性高、結(jié)構(gòu)簡單合理、制作方便、基于雙路控制和帶自檢功能的適用于石英晶片研磨在線測頻系統(tǒng)關(guān)停研磨機的控制裝置及其方法。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及控制裝置領(lǐng)域，更具體地說，它涉及一種高可靠的研磨機關(guān)停控制裝置。

背景技術(shù)

石英晶片的頻率研磨是石英晶振生產(chǎn)過程中的重要工序，晶片通過研磨機進行切削減薄。目前，市場上商用的在線測頻系統(tǒng)（如美國TRANSAT公司ALC在線頻率監(jiān)控儀）通過動態(tài)測量晶片的諧振頻率從而實時監(jiān)控晶片的厚度，當晶片厚度達到預(yù)設(shè)值時在線頻率測量系統(tǒng)發(fā)送關(guān)停信號使研磨機停機。

目前，工廠中在線測頻系統(tǒng)通過一個光電耦合器或一個固態(tài)繼電器來控制研磨機的關(guān)停，當在研磨石英晶片過程中光電耦合器或固態(tài)繼電器發(fā)生故障，當前的測頻系統(tǒng)無法檢測到器件發(fā)生故障，這樣就極有可能造成整盤晶片的超頻事故；同時當研磨機關(guān)停控制線未連接或者接觸不良時，當前的測頻系統(tǒng)同樣無法檢測到控制線未連接或者接觸不良的問題，同樣這極有可能造成對整盤晶片的超頻事故。

對于磁鋼片、陶瓷片和藍寶石等涉及厚度切削的其他研磨機測控系統(tǒng)，也存在相同的風險隱患。隨著當前精密加工領(lǐng)域?qū)ιa(chǎn)效率、合格率和自動化程度要求不斷提高，急需一種高可靠的研磨機關(guān)停控制裝置及其方法。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型克服了現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種可靠性高、結(jié)構(gòu)簡單合理、制作方便、基于雙路控制和帶自檢功能的適用于石英晶片研磨在線測頻系統(tǒng)關(guān)停研磨機的控制裝置及其方法。

為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型的技術(shù)方案如下：

一種高可靠的研磨機關(guān)停控制裝置，包括測頻系統(tǒng)研磨機控制電路模塊、連接口、兩個串聯(lián)的研磨機關(guān)停控制器、研磨機；所述測頻系統(tǒng)控制電路模塊與兩個串聯(lián)的研磨機關(guān)停控制器通過連接口連接，所述研磨機與兩個串聯(lián)的研磨機關(guān)停控制器通過電性連接；所述研磨機關(guān)停控制器為固態(tài)繼電器或光電耦合器；所述測頻系統(tǒng)控制電路模塊包括研磨機控制輸出自檢模塊、研磨機控制自檢模塊和關(guān)停研磨機控制模塊；所述關(guān)停研磨機控制模塊與研磨機控制自檢模塊通過三極管進行控制通訊，所述控制通訊為，關(guān)停研磨機控制模塊導(dǎo)通工作后在IO口輸出低電平，使IO口控制的光耦導(dǎo)通，使得三極管的B極生成一個低壓電值，從而導(dǎo)通三極管，使得研磨機控制自檢模塊的IO口的輸入電平由高電平轉(zhuǎn)為低電平，從而判斷控制電路的狀況；所述研磨機控制輸出自檢模塊與研磨機控制自檢模塊之間設(shè)置串聯(lián)的標識燈和第一限流電阻，所述標識燈為并聯(lián)的LED燈和外接的指示燈，用以顯示電路的狀況。

進一步的，所述連接口采用DB9即串口引腳。

進一步的，所述一個串聯(lián)的研磨機關(guān)停控制器與連接口的1和9引腳連接，作為輸出口；另一個串聯(lián)的研磨機關(guān)停控制器與連接口的2和8引腳連接，作為輸出口。

進一步的，所述研磨機控制輸出自檢模塊和關(guān)停研磨機控制模塊設(shè)置有下拉電阻，用以把不確定的信號鉗位在低電平，保持驅(qū)動能力與功耗的平衡。

進一步的，所述下拉電阻采用10K歐姆。

進一步的，所述自檢控制裝置的輸出電流控制在10至12mA。

本實用新型相比現(xiàn)有技術(shù)優(yōu)點在于：本實用新型的裝置在研磨過程中，只要如下情況其中之一發(fā)生，研磨機都將停止研磨，自動關(guān)停：測頻儀內(nèi)部研磨機控制模塊元件損壞、研磨機控制連線未連接、外部研磨機控制模塊損壞或在研磨過程中接口模塊的損壞或者被控制模塊的脫落。