[實用新型]一種氧化擴(kuò)散合金退火爐上的螺旋型二硅化鉬加熱裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721757601.2 | 申請日： | 2017-12-15 |
| 公開（公告）號： | CN207596940U | 公開（公告）日： | 2018-07-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 劉洋 | 申請（專利權(quán)）人： | 青島華旗科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C8/10 | 分類號： | C23C8/10 |
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| 地址： | 266000 山東*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 二硅化鉬加熱元件 二硅化鉬 螺旋形 爐襯 本實用新型 加熱裝置 加熱絲 螺旋型 退火爐 合金 設(shè)備使用壽命 抗氧化性能 擴(kuò)散 高溫氧化 內(nèi)部設(shè)置 | ||
本實用新型公開了一種氧化擴(kuò)散合金退火爐上的螺旋型二硅化鉬加熱裝置，包括外殼，外殼的內(nèi)側(cè)面上設(shè)置有爐襯，爐襯的內(nèi)部設(shè)置有螺旋形二硅化鉬加熱元件，螺旋形二硅化鉬加熱元件上設(shè)置有若干U型和/或J形掛鉤，螺旋形二硅化鉬加熱元件通過U型和/或J形掛鉤安裝在爐襯內(nèi)。本實用新型設(shè)計合理，二硅化鉬加熱絲抗氧化性能好，可長期在高溫氧化的環(huán)境中使用，加熱絲壽命長，延長設(shè)備使用壽命，實用性強(qiáng)，適于推廣。
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型屬于氧化擴(kuò)散合金退火爐領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種氧化擴(kuò)散合金退火爐上的螺旋型二硅化鉬加熱裝置。
背景技術(shù)
半導(dǎo)體材料的氧化擴(kuò)散合金退火工藝過程是在高溫恒溫狀態(tài)下進(jìn)行的，因此對加熱裝置要求耐高溫、穩(wěn)定性要好。常規(guī)的鐵鉻鋁電阻絲加熱，正常的最高使用溫度不大于1280℃，當(dāng)超出該溫度時，電阻絲很容易燒壞。
實用新型內(nèi)容
針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實用新型的目的在于提供了一種氧化擴(kuò)散合金退火爐上的螺旋型二硅化鉬加熱裝置，設(shè)計合理，螺旋型二硅化鉬加熱體升溫速度快，減短工藝周期，從而提高設(shè)備效率；二硅化鉬加熱絲能夠長期在1350℃及以上溫度穩(wěn)定工作，穩(wěn)定性能好，高溫變形小，保障加熱裝置內(nèi)的溫度恒定，給原材料提供更好的高溫恒溫的工藝環(huán)境，加快氧化薄膜等生長的速率，大大提高了生產(chǎn)效率，同時，二硅化鉬加熱絲抗氧化性能好，可長期在高溫氧化的環(huán)境中使用，加熱絲壽命長，延長設(shè)備使用壽命，實用性強(qiáng)，適于推廣。
為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供了如下技術(shù)方案：
一種氧化擴(kuò)散合金退火爐上的螺旋型二硅化鉬加熱裝置，與氧化擴(kuò)散合金退火爐相對應(yīng)，其特征在于：所述螺旋型二硅化鉬加熱裝置包括外殼，外殼的內(nèi)側(cè)面上設(shè)置有爐襯，爐襯的內(nèi)部設(shè)置有螺旋形二硅化鉬加熱元件，螺旋形二硅化鉬加熱元件上設(shè)置有若干U型和/或J形掛鉤，螺旋形二硅化鉬加熱元件通過U型和/或J形掛鉤安裝在爐襯內(nèi)。
作為一種優(yōu)化的技術(shù)方案，所述螺旋形二硅化鉬加熱元件包括二硅化鉬加熱絲以及設(shè)置在二硅化鉬加熱絲兩端的連接電極，連接電極貫穿爐襯和外殼且與外部電源連接。
作為一種優(yōu)化的技術(shù)方案，所述二硅化鉬加熱絲是由二硅化鉬絲螺旋繞制而成的加熱絲；所述加熱絲上設(shè)置有若干U型和/或J形掛鉤，加熱絲通過U型和/或J形掛鉤安裝在爐襯上；所述加熱絲的螺旋內(nèi)徑為50-500mm。
作為一種優(yōu)化的技術(shù)方案，所述爐襯是由耐火材料真空成型為硬質(zhì)耐火纖維制品，厚度為50mm-300mm，數(shù)目為2-16片；每一個加熱元件上設(shè)置有10-200個U型和/或J型掛鉤。
由于采用了上述技術(shù)方案，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型設(shè)計合理，螺旋型二硅化鉬加熱體升溫速度快，減短工藝周期，從而提高設(shè)備效率；二硅化鉬加熱絲能夠長期在1350℃及以上溫度穩(wěn)定工作，穩(wěn)定性能好，高溫變形小，保障加熱體內(nèi)的溫度恒定，給原材料提供更好的高溫恒溫的工藝環(huán)境，加快氧化薄膜等生長的速率，大大提高了生產(chǎn)效率，同時，二硅化鉬加熱絲抗氧化性能好，可長期在高溫氧化的環(huán)境中使用，加熱絲壽命長，延長設(shè)備使用壽命，實用性強(qiáng)，適于推廣。
參照附圖和實施例對本實用新型做進(jìn)一步說明。
附圖說明
圖1為本實用新型一種實施例的截面結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為本實用新型一種實施例的外部的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖3為本實用新型一種實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4為本實用新型一種實施例的二硅化鉬加熱元件的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
實施例
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C8-00 金屬材料表面中僅滲入非金屬元素的固滲
C23C8-02 .被覆材料的預(yù)處理
C23C8-04 .局部表面的處理，例如使用掩蔽物的
C23C8-06 .使用氣體的
C23C8-40 .使用液體，例如鹽浴、懸浮液的
C23C8-60 .使用固體，例如粉末、膏劑的
