[實用新型]一種硅片切割用降溫裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721719413.0
• 申請日: 2017-12-12
• 公開（公告）號: CN207747249U
• 公開（公告）日: 2018-08-21
• 發(fā)明（設計）人: 胡林寶
• 申請（專利權）人: 浙江游星電子科技有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/02
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種硅片切割用降溫裝置，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)的四角安裝有豎直立桿(2)，所述豎直立桿(2)遠離底板(1)的一端安裝有頂板(3)，所述底板(1)上開設有圓形凹槽，所述圓形凹槽中通過支柱安裝有切割平臺(4)，所述頂板(3)的下方切割平臺(4)的上方安裝有切割裝置(5)，所述圓形凹槽的底部開設有圓形孔槽，所述圓形凹槽通過圓形孔槽連接有第一水管(6)，所述第一水管(6)遠離圓形凹槽的一端安裝有第一水箱(7)，所述第一水箱(7)的內部安裝有濾板(8)，且所述第一水箱(7)的一側濾板(8)的下方連通有第二水管(9)，所述第二水管(9)遠離第一水箱(7)的一端安裝有水泵(10)，所述水泵(10)的一側連接有循環(huán)管，且循環(huán)管遠離水泵(10)的一端連接有第二水箱(11)，所述第二水箱(11)安裝在頂板(3)的上方，所述第二水箱(11)的一側下方連通有第三水管(12)，所述第三水管(12)遠離第二水箱(11)的一端安裝有噴水盤(13)，且所述噴水盤(13)上等距離均勻開設有出水口，出水口上均安裝有噴頭(14)，所述頂板(3)的上方遠離第二水箱(11)的一側安裝有鼓風裝置(15)。

2.根據權利要求1所述的一種硅片切割用降溫裝置，其特征在于，所述鼓風裝置(15)由鼓風箱、轉動電機與鼓風扇構成，轉動電機、鼓風扇均安裝在鼓風箱的內部，且鼓風扇安裝在轉動電機的輸出軸上。

3.根據權利要求2所述的一種硅片切割用降溫裝置，其特征在于，所述鼓風箱的下方房連通有鼓風管(16)，所述鼓風管(16)遠離鼓風箱的一端開設有出風口(17)，所述出風口(17)設置在切割平臺(4)的一側上方。

4.根據權利要求1所述的一種硅片切割用降溫裝置，其特征在于，所述噴水盤(13)傾斜安裝在第三水管(12)的下方，所述出水口呈圓形陣列排布在噴水盤(13)的下方，且所述噴水盤(13)上的噴頭(14)的噴水方向均朝切割平臺(4)。

5.根據權利要求1所述的一種硅片切割用降溫裝置，其特征在于，所述第一水管(6)、第二水管(9)、第三水管(12)上均安裝有電磁控制閥。