[實(shí)用新型]一種定位鎖

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721694856.9
• 申請日: 2017-12-07
• 公開（公告）號: CN207645355U
• 公開（公告）日: 2018-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚麗英;胡彬;黃偉
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇微導(dǎo)納米裝備科技有限公司
• 主分類號: B65G49/07
• 分類號: B65G49/07
• 代理公司: 南京知識律師事務(wù)所 32207
• 代理人: 朱少華

本實(shí)用新型公開了一種定位鎖，定位鎖設(shè)有安裝底板，氣缸固定在安裝底板上，氣缸設(shè)有伸縮軸，固定板上設(shè)有鎖定卡口；伸縮軸伸入鎖定卡口，安裝底板與固定板鎖定；該定位鎖安裝在原子層沉積設(shè)備的自動化上下料機(jī)的多載位的一體舟上，實(shí)現(xiàn)了在槳水平運(yùn)動時(shí)，槳的豎直方向的鎖定；槳需要升降運(yùn)動時(shí)，槳在水平方向上鎖定；實(shí)現(xiàn)了兩個(gè)軸向運(yùn)動的相互獨(dú)立，避免一體舟載體在運(yùn)動軌跡中可能發(fā)生的碰撞和墜落風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型適用于通用型兩軸雙向運(yùn)動機(jī)構(gòu)的位置安全互鎖的技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及到原子層沉積設(shè)備的自動上下料機(jī)的一種槳的定位安全互鎖裝置。

背景技術(shù)

光伏行業(yè)競爭激烈，光伏廠家對于高效產(chǎn)能的要求，以及萬級無塵車間內(nèi)空間限制，工藝設(shè)備占地面積有限的考慮，通常單臺ALD原子層沉積設(shè)備會在高度方向設(shè)有二個(gè)、三個(gè)或者多個(gè)工藝腔體，同時(shí)進(jìn)行硅片的納米鍍層工藝。多工藝腔體的主機(jī)臺結(jié)構(gòu)，及每個(gè)腔體對硅片載體的裝載及卸載精確的定位要求，同時(shí)也提高了配套自動化上下料機(jī)動作和節(jié)拍的復(fù)雜程度。機(jī)構(gòu)和動作的復(fù)雜程度越高，造成機(jī)構(gòu)意外失效及失控的概率即會增大。因此，如何保證自動化設(shè)備上下料的動作無故障高效率的執(zhí)行，以及對于不可控風(fēng)險(xiǎn)的安全防護(hù)措施，就顯得尤為重要。

ALD原子層沉積設(shè)備的自動化上下料機(jī)中，最終進(jìn)入主機(jī)臺腔體進(jìn)行工藝作業(yè)的硅片載體，通常為多載位的一體舟。槳豎直升降及水平推送的龍門架集成組件，是實(shí)現(xiàn)一體舟搬運(yùn)及裝載入腔體的主要機(jī)構(gòu)。槳集成組件需要實(shí)現(xiàn)豎直升降及水平搬運(yùn)兩個(gè)軸向的運(yùn)動，由于滿載的硅片價(jià)值和精密制造一體舟的價(jià)值，需要避免一體舟載體在運(yùn)動軌跡中可能發(fā)生的碰撞和墜落風(fēng)險(xiǎn)，兩個(gè)軸向的運(yùn)動需要相互獨(dú)立，而且不能同時(shí)進(jìn)行。因此，引入槳機(jī)構(gòu)的定位安全互鎖裝置，就變得極為必要。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決原子層沉積設(shè)備中的自動上下料機(jī)中現(xiàn)實(shí)存在的問題，避免槳豎直升降及水平推送的龍門架集成組件在水平和豎直兩個(gè)運(yùn)動方向的相互干擾，本實(shí)用新型提供了一種定位鎖的技術(shù)方案。

定位鎖設(shè)有安裝底板，氣缸固定在安裝底板上，氣缸設(shè)有伸縮軸，固定板上設(shè)有鎖定卡口；伸縮軸伸入鎖定卡口，安裝底板與固定板鎖定。

氣缸通過氣缸安裝座固定在安裝底板上；所述伸縮軸在軸座內(nèi)孔內(nèi)伸縮；需要進(jìn)行位置鎖定時(shí)，氣缸的伸縮軸伸出，伸入鎖定卡口，固定板與安裝底板不能發(fā)生相對移動。

鎖定卡口的內(nèi)側(cè)設(shè)有緩沖套，緩沖套可以減少伸縮軸對鎖定卡口的沖擊力，緩沖套方便更換，對鎖定卡口具有保護(hù)作用。

伺服電機(jī)滾珠絲杠組件帶動槳及一體舟，實(shí)現(xiàn)豎直升降運(yùn)動；伺服電機(jī)齒輪齒條組件帶動槳及一體舟，實(shí)現(xiàn)水平推送運(yùn)動。

水平方向的定位鎖的安裝底板為原子層沉積設(shè)備的自動上下料機(jī)的槳的安裝板，氣缸安裝座固定在安裝地板上；鎖定卡口設(shè)在槳上；氣缸伸縮軸伸入槳上的鎖定卡口，槳的水平方向鎖定。水平位置的定位鎖布置于槳加持一體舟的另外一端。

豎直方向的定位鎖的安裝底板為原子層沉積設(shè)備的自動上下料機(jī)的槳的安裝板，氣缸安裝板通過支撐軸與安裝底板連接；所述鎖定卡口設(shè)有多個(gè)，分別設(shè)置在原子層沉積設(shè)備的自動上下料機(jī)的龍門架上的不同高度上；槳升降到龍門架的鎖定卡口的位置，伸縮軸伸入鎖定卡口內(nèi)，槳的豎直方向鎖定。

優(yōu)選的豎直位置的定位鎖具體設(shè)有三處鎖定卡口，布置在龍門架的豎直方向，分別對應(yīng)主機(jī)臺三個(gè)豎直布置的工藝腔體。

豎直升降運(yùn)動和水平推送運(yùn)動相互獨(dú)立不同時(shí)進(jìn)行。當(dāng)整個(gè)機(jī)構(gòu)做豎直方向升降運(yùn)動的時(shí)候，水平位置定位鎖執(zhí)行機(jī)械鎖定動作，使得槳和一體舟在水平方向定位在一個(gè)固定位置，升降動作完成，水平位置的定位鎖解除鎖定；當(dāng)槳升降到與工藝腔體對接位置，槳推送一體舟進(jìn)行水平運(yùn)動時(shí)，觸發(fā)豎直位置安定位鎖，將槳和一體舟豎直方向上固定在龍門架三處卡口中的一處。

另外，定位鎖可以采用電缸代替氣缸，電缸的固定方式與氣缸的固定方式相同，電缸軸伸入鎖定卡口，安裝底板與固定板位置鎖死。