[實用新型]一種用于高基頻石英晶體片的清洗裝置有效
| 申請號： | 201721678796.1 | 申請日： | 2017-12-06 |
| 公開（公告）號： | CN207887610U | 公開（公告）日： | 2018-09-21 |
| 發明（設計）人： | 杜敏;姚曉文;李祥;李坡 | 申請（專利權）人： | 廊坊中電熊貓晶體科技有限公司 |
| 主分類號： | B08B11/00 | 分類號： | B08B11/00;B08B3/10;B08B3/08 |
| 代理公司： | 南京君陶專利商標代理有限公司 32215 | 代理人： | 沈根水 |
| 地址： | 065001 河北省廊坊市*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 石英晶體片 載盤 清洗裝置 槽孔 導桿 基頻 清洗 本實用新型 充分接觸 垂直受力 清洗效率 一次清洗 重疊問題 裝置組件 碎裂 清洗液 螺絲 旋緊 晃動 密布 穿過 組裝 流動 保證 | ||
【權利要求書】：
1.用于高基頻石英晶體片的清洗裝置，其特征是由兩個完全相同的組件構成，兩組件的石英晶體片載盤間夾一個延槽孔，所述石英晶體片載盤上插有導桿，導桿穿過擋捎，擋捎上有螺絲；所述組件形狀均為圓盤狀，兩組件包括上表面密布的延槽孔和一下表面格擋圈，下表面格擋圈位于延槽孔中部。
2.根據權利要求1所述的用于高基頻石英晶體片的清洗裝置，其特征是延槽孔長軸方向豎直放置的是一片石英晶體片。
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