[實用新型]一種面向中空纖維膜批量改性的旋轉原子層沉積反應器

有效

• 申請號: 201721675598.X
• 申請日: 2017-12-05
• 公開（公告）號: CN207581935U
• 公開（公告）日: 2018-07-06
• 發明（設計）人: 汪勇;賈小娟;熊森
• 申請（專利權）人: 南京工業大學
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/458;C23C16/40
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙) 32249
• 代理人: 馮慧

1.一種面向中空纖維膜批量改性的旋轉原子層沉積反應器，其特征在于，包括腔體（1）和上蓋（5），腔體（1）的頂部和上蓋（5）通過密封圈（4）密封連接，腔體（1）底部設有進氣管（10）和出氣管（11）；帶有磁鐵（3）的電機（6）固定于上蓋（5）的頂部，電機（6）通過轉軸（7）帶動磁鐵（3）轉動；在腔體（1）內有同樣的磁鐵（3），在磁鐵的相互作用力下，腔體（1）內的磁鐵（3）隨著電機（6）的轉動而轉動；支架（8）固定在腔體（1）側壁上，磁鐵（3）通過轉軸（7）固定在支架（8）上；轉軸（7）的末端連接多孔轉盤（2），中空纖維膜（9）懸掛在多孔轉盤（2）上。

2.如權利要求1所述的一種面向中空纖維膜批量改性的旋轉原子層沉積反應器，其特征在于，多孔轉盤（2）中孔的排布為同心圓排布，中空纖維膜（9）通過生料帶懸掛在多孔轉盤（2）上。

3.如權利要求1所述的一種面向中空纖維膜批量改性的旋轉原子層沉積反應器，其特征在于，所述密封圈（4）為氟橡膠O型密封圈。

4.如權利要求1所述的一種面向中空纖維膜批量改性的旋轉原子層沉積反應器，其特征在于，支架（8）用螺絲固定在腔體（1）側壁上。