[實用新型]一種多層復合柔性薄膜曲面形變檢測裝置

有效

• 申請號: 201721650097.6
• 申請日: 2017-12-01
• 公開（公告）號: CN207515735U
• 公開（公告）日: 2018-06-19
• 發明（設計）人: 陳誠
• 申請（專利權）人: 天津商業大學
• 主分類號: G01B11/16
• 分類號: G01B11/16
• 代理公司: 天津市三利專利商標代理有限公司 12107
• 代理人: 韓新城

本實用新型公開一種多層復合柔性薄膜曲面形變檢測裝置，包括樣品池、儲液池、壓力控制器、用于將儲液池內液體送入樣品池中的微型泵、圖像處理計算機、二維顯微載物臺和三維形貌測量系統；三維形貌測量系統包括光柵相移投影器和CCD傳感器；樣品池固定在二維顯微載物臺上，樣品池的池口上覆蓋待側的多層復合柔性薄膜，多層復合柔性薄膜與池口周邊密封連接，壓力控制器與微型泵及樣品池連接；光柵相移投影器用于將正弦柵線投影到多層復合柔性薄膜表面，CCD傳感器獲取多層復合柔性薄膜變形后的正弦柵線投影圖像傳送到圖像處理計算機。本實用新型能實現全視場大角度地測量多層復合柔性薄膜曲面形變特征。

技術領域

本實用新型涉及多層復合柔性可延展傳感器檢測技術領域，具體是涉及一種多層復合柔性薄膜曲面形變檢測裝置。

背景技術

柔性電子技術以其獨特的延展性及高效低成本的制造工藝在信息、能源、醫療等領域占據了很大的地位，柔性光電傳感器是科學領域研究一大熱點，其使用了可延展的金屬導線將不同測量單元連接成復雜的網狀結構，然而柔性光電傳感器并不具備延展性，無法順應地覆蓋任何復雜的曲面，實現任意復雜曲面的集成還需要依靠柔性可延展的多層復合柔性薄膜光電傳感器，多層復合柔性薄膜光電傳感器陣列是在剛性平面基底上完成加工，通過轉印的方法轉印到平面柔性基底上，平面柔性基底通過機械變形獲得原有曲面形式。多層復合柔性薄膜光電傳感器使得不同層的光電傳感器互為補充，提高了光電傳感器的分辨率。

為實現對多層復合柔性薄膜光電傳感器的機械、光學、和電學等性質的評估，需要通過可控的機械形變實驗來獲得多層復合柔性薄膜傳感器整體微觀形變。然而目前沒有相應的檢測手段予以檢測多層復合柔性薄膜光電傳感器的形變特征。

實用新型內容

本實用新型的目的是針對現有技術中存在的技術缺陷，而提供一種基于光柵移相莫爾條紋技術的多層復合柔性薄膜曲面形變檢測裝置，其可在無需移動傳感器情況下，實現全視場大角度地測量多層復合柔性薄膜曲面形變特征。

為實現本實用新型的目的所采用的技術方案是：

一種多層復合柔性薄膜曲面形變檢測裝置，包括：

樣品池、儲液池、壓力控制器、用于將儲液池內液體送入樣品池中的微型泵、圖像處理計算機、二維顯微載物臺和三維形貌測量系統；所述三維形貌測量系統包括光柵相移投影器和CCD傳感器；所述樣品池固定在所述二維顯微載物臺上，所述樣品池的池口上覆蓋待側的多層復合柔性薄膜，所述多層復合柔性薄膜與池口周邊密封連接，所述壓力控制器與微型泵及樣品池連接；所述光柵相移投影器用于將正弦柵線投影到多層復合柔性薄膜表面，所述CCD傳感器用于采集多層復合柔性薄膜變形后的正弦柵線投影圖像，傳送到圖像處理計算機。

所述二維顯微載物臺由受電機驅動的絲杠驅動以實現在直線導軌上二維移動。

所述多層復合柔性薄膜的四周通過圓環狀的墊片及螺釘與樣品池相固定。

本實用新型通過使用相移投影器將正弦柵線投射到多層復合柔性薄膜形變后的表面,利用CCD傳感器獲取多層復合柔性薄膜表面形貌和偏離基準面變形，利用圖像處理計算機，從而可以分析出多層復合柔性薄膜在上凸-下凹形變后圖像的不同曲率并可獲得多層復合柔性薄膜的三維形貌和變形。

附圖說明

圖1是多層復合柔性薄膜曲面形變檢測裝置的結構原理示意圖；

圖2是多層復合柔性薄膜曲面上凸形變圖；

圖3為是多層復合柔性薄膜曲面下凹形變圖；

圖中：1-儲液池；2-電源；3-光柵相移投影器；4-多層復合柔性薄膜；5-CCD傳感器；6-墊片；7-圖像處理計算機；8-液體；9-樣品池；10-二維顯微載物臺；11-微型泵；12-壓力控制器。

具體實施方式