[實(shí)用新型]一種分選機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721627965.9
• 申請(qǐng)日: 2017-11-29
• 公開（公告）號(hào): CN207517650U
• 公開（公告）日: 2018-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 杜鵬;魯高照;邱智中;蔡吉明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安徽三安光電有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/673;H01L21/687
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種分選機(jī)，用于分選置于粘性膜上的晶粒，至少包括，固定粘性膜的中空載盤、掃描晶粒以判斷晶粒是否異常的掃描裝置、將晶粒從粘性膜上頂出的頂針模組以及控制裝置，其特征在于：

所述載盤可升降并且豎直設(shè)置；

與所述載盤相對(duì)設(shè)置有通過氣流吸附晶粒的吸氣裝置；

所述掃描裝置位于吸氣裝置與載盤的中間的上方，于所述掃描裝置下方設(shè)置有反光件，掃描裝置通過反光件掃描載盤上的晶粒；

于所述載盤和吸氣裝置下方設(shè)置收集異常晶粒的真空收集裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種分選機(jī)，其特征在于：所述真空收集裝置包括回收槽、收集瓶、抽真空裝置，以及連接回收槽、收集瓶和抽真空裝置的真空管路，異常晶粒在抽真空裝置的真空氣流作用下從回收槽進(jìn)入收集瓶?jī)?nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種分選機(jī)，其特征在于：所述真空收集裝置呈“U”型，收集瓶安裝于底端，回收槽和抽真空裝置位于兩端。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種分選機(jī)，其特征在于：所述收集瓶可拆卸地安裝于真空收集裝置的底端。

5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種分選機(jī)，其特征在于：所述收集瓶外周設(shè)置有判定收集瓶是否裝滿的限位感應(yīng)器。

6.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種分選機(jī)，其特征在于：所述回收槽為便于收集晶粒的漏斗狀，所述回收槽的開口直徑大于吸氣裝置和晶粒載盤之間的距離。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種分選機(jī)，其特征在于：所述頂針模組包括單個(gè)頂針或者復(fù)數(shù)個(gè)頂針。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種分選機(jī)，其特征在于：所述頂針的數(shù)目大于等于2。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種分選機(jī)，其特征在于：所述反光件為反光鏡。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種分選機(jī)，其特征在于：所述掃描裝置為CCD。