[實用新型]一種晶圓處理裝置及用于此類處理裝置的加熱器組件

有效

• 申請號: 201721627331.3
• 申請日: 2017-11-29
• 公開（公告）號: CN207498513U
• 公開（公告）日: 2018-06-15
• 發明（設計）人: 鄭振宇;何乃明
• 申請（專利權）人: 中微半導體設備（上海）有限公司
• 主分類號: C30B25/10
• 分類號: C30B25/10;C30B25/08;H01L21/67
• 代理公司: 上海信好專利代理事務所(普通合伙) 31249
• 代理人: 潘朱慧

1.一種加熱器組件，其特征在于，包含：

加熱元件，包含從加熱元件中心到邊緣分區域設置的多個加熱體，所述多個加熱體固定設置在底板上；

其中，位于加熱元件最外環的加熱體，設有相互串聯和/或并聯、且環繞成圓環的多個加熱片，其中每一加熱片通過兩端的連接件與電極或相鄰加熱片連接，每一加熱片兩端的兩個連接件中至少一個為活動連接件，通過對應的活動連接件與相鄰加熱片或電極相連接，

其中所述活動連接件包括至少一彈性片，彈性片的第一端連接到所述加熱片，彈性片的第二端連接到一個固定到所述底板的連接部或者連接到其它連接件，所述彈性片能夠彈性變形，使得最外環的加熱體中的加熱片在升溫膨脹過程中能夠沿圓周方向延展。

2.如權利要求1所述的加熱器組件，其特征在于，

所述加熱器組件還包含：加熱器底板，和設置在所述加熱元件與加熱器底板頂面之間的加熱防護件；所述加熱元件通過多個支撐端子安裝于加熱防護件上。

3.如權利要求1所述的加熱器組件，其特征在于，

加熱元件的多個加熱體，包含第一加熱體到第四加熱體，第四加熱體是位于加熱元件最外環的加熱體；

所述第一加熱體為軸加熱器，位于所述加熱元件的中心處；

所述第二加熱體包括一個加熱片，其環繞設置在所述第一加熱體的外圓周側；

所述第二加熱體的加熱片沿著單個的平面內的曲折路徑彎曲并且其外圓周大致為圓形；

所述第三加熱體包括兩個加熱片；所述兩個加熱片對稱布置，環繞設置在所述第二加熱體的外圓周側；所述第三加熱體的每一加熱片沿著單個的平面內的曲折路徑彎曲以形成外圓周大致為半圓形的螺旋狀結構；

所述第四加熱體的四個加熱片在同一平面圍成的圓環，其環繞設置在所述第三加熱體的外圓周側。

4.如權利要求3所述的加熱器組件，其特征在于，

所述第一至第四加熱體各設有用于與電極連接的兩個連接器端，使得電極向所述第一至第四加熱體供電；所述兩個連接器端之間設有間隙。

5.如權利要求3所述的加熱器組件，其特征在于，

所述第四加熱體的四個加熱片中，第一加熱片的固定端與第二加熱片的固定端分別與第一固定連接件設有的兩個與電極連接的連接器端連接；

所述第一加熱片的活動端通過對應的第一活動連接件與第四加熱片的活動端串聯連接；

第四加熱片的固定端通過對應的第二固定連接件與第三加熱片的固定端串聯連接；

第三加熱片的活動端通過對應的第二活動連接件與第二加熱片的活動端串聯連接。

6.如權利要求4或5所述的加熱器組件，其特征在于，

所述連接器端穿過所述加熱器組件設有的加熱防護件與加熱器底板，與設置在所述加熱器底板的底面下方的連接器板連接，進而在連接器板上通過穿過電極密封件的導線完成與電極的接線連接。

7.如權利要求6所述的加熱器組件，其特征在于，

所述第二固定連接件包括頂部連接板，中部過渡段與底部連接板；其中頂部連接板使第四加熱片的固定端與第三加熱片的固定端連接；

所述中部過渡段貫穿加熱防護板與加熱器底板；

所述底部連接板設置在所述加熱器底板的底面上，從而將第四加熱片的固定端與第三加熱片的固定端固定。

8.如權利要求6所述的加熱器組件，其特征在于，

所述第一活動連接件與第二活動連接件中任意一個活動連接包含：

相互對稱設置的一對柔性U形板，一對支撐件；所述支撐件包括一豎直段與水平段；其中，兩個水平段對應分別與第一加熱片的第二端與第四加熱片的第一端連接；

所述兩個豎直段貫穿所述加熱防護件與加熱器底板；每一所述豎直段的頂端與對應的水平段連接，每一所述豎直段的底端通過固定板將柔性U形板的一端固定貼合連接；所述柔性U形板的另一端通過連接板與支撐件設置在所述加熱器底板的底面。