[實用新型]一種真空吸盤

有效

• 申請號: 201721626752.4
• 申請日: 2017-11-29
• 公開（公告）號: CN207509130U
• 公開（公告）日: 2018-06-19
• 發明（設計）人: 邱宇航;周穎;倪明明;洪紀倫;吳宗祐;林宗賢
• 申請（專利權）人: 德淮半導體有限公司
• 主分類號: B25B27/00
• 分類號: B25B27/00;B25B11/02
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

本實用新型提供一種真空吸盤，其特征在于，所述真空吸盤包括：內設有空腔的吸盤本體，其中，所述吸盤本體一表面設有若干與所述空腔貫通的安裝槽孔；設于所述安裝槽孔上的燈泡抓取裝置，設于所述空腔內、且與所述燈泡抓取裝置連接的真空室；及設于所述吸盤本體外、且與所述真空室連接的吸真空裝置。通過本實用新型提供的真空吸盤，解決了現有更換燈泡耗費時間較長的問題。

技術領域

本實用新型涉及半導體設備領域，特別是涉及一種真空吸盤。

背景技術

快速熱退火(rapid thermal annealing：RTA)是將工件加熱到較高溫度，根據材料和工件尺寸采用不同的保溫時間，然后進行快速冷卻，目的是使金屬內部組織達到或接近平衡狀態，獲得良好的工藝性能和使用性能。

RTA在現代半導體產業有重要的應用。可以極快的升溫至目標溫度(1000℃～1300℃)后短暫持續，以對硅片進行熱處理；快速的升溫過程和短暫的持續時間能夠在晶格缺陷的修復、激活雜質和最小化雜質擴散三者之間取得優化，而且RTA還能減小瞬時增強擴散。相對于爐管退火，它具有熱預算少，硅中雜質運動小，玷污小和加工時間短等特點。

RTA一般是在快速熱退火機臺中進行，現有的快速熱退火機臺一般包括1～3個退火腔室，而每個退火腔室有409根燈泡，每根燈泡的壽命約為兩年，通常做法是在燈泡壽命到期之前提前更換；現有更換燈泡的方式一般是手動一根一根進行更換，比較浪費時間。

鑒于此，有必要設計一種新的真空吸盤用以解決上述技術問題。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種真空吸盤，解決了現有更換燈泡耗費時間較長的問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種真空吸盤，所述真空吸盤包括：

內設有空腔的吸盤本體，其中，所述吸盤本體一表面設有若干與所述空腔貫通的安裝槽孔；

設于所述安裝槽孔上的燈泡抓取裝置；

設于所述空腔內、且與所述燈泡抓取裝置連接的真空室；及

設于所述吸盤本體外、且與所述真空室連接的吸真空裝置。

優選地，所述真空吸盤還包括：

設于所述燈泡抓取裝置外圍的保護裝置；

設于所述空腔內、且與所述保護裝置連接的彈性裝置；及

設于所述吸盤本體外、且與所述彈性裝置連接的收縮裝置。

優選地，所述真空吸盤還包括：連接所述燈泡抓取裝置及所述真空室的連接裝置。

優選地，所述燈泡抓取裝置包括中空的柱形軟管，其中，所述柱形軟管的內徑與待抓取燈泡的外徑相同。

優選地，所述彈性裝置包括彈簧。

優選地，所述收縮裝置包括吸真空裝置或拉伸裝置。

優選地，所述吸真空裝置包括真空泵。

如上所述，本實用新型的一種真空吸盤，具有以下有益效果：通過本實用新型提供的真空吸盤進行燈泡的更換，可實現一次更換多根燈泡，大大節省了更換燈泡的時間；而且本實用新型還通過保護筒的設計，避免在更換燈泡過程中對燈泡的損壞，起到保護燈泡的作用。

附圖說明

圖1顯示為本實用新型實施例一所述真空吸盤的結構示意圖。

圖2顯示為本實用新型實施例二所述真空吸盤的結構示意圖。

圖3至圖6顯示為本實用新型所述真空吸盤抓取燈泡的示意圖。

元件標號說明