[實用新型]多層基片歸正裝置

有效

• 申請號: 201721625323.5
• 申請日: 2017-11-28
• 公開（公告）號: CN207482820U
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發明（設計）人: 梅艷慧
• 申請（專利權）人: 君泰創新（北京）科技有限公司
• 主分類號: B65G47/24
• 分類號: B65G47/24
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 趙景平;張春雨

1.一種多層基片歸正裝置，其特征在于，包括：

驅動單元、長軸以及多個基片歸正機構；

所述長軸豎置于工藝腔室內，所述基片歸正機構穿設在所述長軸上，并在各所述基片歸正機構之間按照工藝腔室內各層基片的間距設置間隙；

所述驅動單元包括驅動主體和驅動輸出軸，所述驅動主體設置在工藝腔室外，所述驅動輸出軸的一端與所述驅動主體連接，所述驅動輸出軸的另一端與工藝腔室內的所述長軸連接；

所述基片歸正機構包括：安裝座、歸正板以及連桿組件；

所述安裝座設有第一軸承，所述安裝座通過所述第一軸承穿設在所述長軸上，且所述第一軸承與所述長軸在配合處固接；

所述安裝座的一端與工藝腔室的內壁固接，所述安裝座遠離所述內壁的一端設有與所述長軸平行的銷軸，所述歸正板通過所述銷軸與所述安裝座鉸接；

所述連桿組件的兩端分別與所述長軸和所述歸正板連接；

所述歸正板設有兩個歸正銷，并且所述安裝座設有限位部件，當所述驅動單元驅動所述長軸轉動，使所述連桿組件驅動所述歸正板圍繞所述銷軸的軸線轉動至與所述限位部件相抵時，所述歸正銷分別抵靠在基片的兩個鄰邊上。

2.根據權利要求1所述的多層基片歸正裝置，其特征在于，所述驅動輸出軸上套設有密封護套；

所述密封護套內置有球頭接頭的一端與所述驅動輸出軸遠離所述長軸的一端固接，所述球頭接頭與所述驅動主體固接，所述密封護套遠離所述驅動主體的一端固接在工藝腔室外壁上。

3.根據權利要求2所述的多層基片歸正裝置，其特征在于，所述密封護套為波紋管組件。

4.根據權利要求2所述的多層基片歸正裝置，其特征在于，所述驅動主體為伺服電機，所述伺服電機的電機軸與所述球頭接頭固接。

5.根據權利要求2所述的多層基片歸正裝置，其特征在于，所述驅動主體為氣缸，所述氣缸的活塞桿與所述球頭接頭固接。

6.根據權利要求5所述的多層基片歸正裝置，其特征在于，還包括轉接桿，所述轉接桿的一端與所述長軸固接，所述轉接桿遠離所述長軸的一端與所述驅動輸出軸遠離所述氣缸的一端連接；

所述氣缸通過所述轉接桿驅動所述長軸轉動。

7.根據權利要求1～6任一項所述的多層基片歸正裝置，其特征在于，所述第一軸承為球面軸承。

8.根據權利要求1～6任一項所述的多層基片歸正裝置，其特征在于，所述歸正銷的材質為聚氨酯。

9.根據權利要求1～6任一項所述的多層基片歸正裝置，其特征在于，所述連桿組件包括第一連桿、第二連桿、第二軸承和第三軸承；

所述第一連桿的一端與所述長軸固接，所述第一連桿遠離所述長軸的一端與所述第二連桿的一端通過所述第二軸承鉸接，所述第二連桿遠離所述第二軸承的一端與所述歸正板的一端通過所述第三軸承鉸接；

所述驅動單元驅動所述長軸轉動，帶動所述第一連桿、所述第二連桿和所述歸正板聯動，使所述第二連桿驅動所述歸正板圍繞所述銷軸的軸線轉動。

10.根據權利要求9所述的多層基片歸正裝置，其特征在于，所述第二軸承和所述第三軸承均為推力球軸承。