[實用新型]一種彈夾式等離子真空處理箱體

有效

• 申請號: 201721587797.5
• 申請日: 2017-11-24
• 公開（公告）號: CN207505197U
• 公開（公告）日: 2018-06-15
• 發明（設計）人: 劉向偉;劉善石
• 申請（專利權）人: 昆山索坤萊機電科技有限公司
• 主分類號: H05H1/24
• 分類號: H05H1/24
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種彈夾式等離子真空處理箱體，包括真空箱體，真空箱體的前端安裝有固定框，真空箱體的上端接入電極饋入件，所述真空箱體設有用于安裝產品的彈夾料盒，以及用于放置兩個彈夾料盒的彈夾料盒放置結構，本實用彈夾式等離子真空處理箱體通過圓孔極板和柱狀電極柱混合使用，來提高真空箱室內等離子體均勻性；外部饋入式電極結構，有效的改善了極板電量均勻性，使真空箱室內等離子體分布更均勻，更具流通性，達到彈夾料盒內每層產品都能有效地處理到，提高處理效果和處理均勻性，避免了因燒板和處理不到而造成的經濟損失，從而減少生產成本。

技術領域

本實用新型涉及等離子技術領域，特別涉及一種彈夾式等離子真空處理箱體。

背景技術

等離子體表面處理設備已廣泛應用于PCB制造、電子電路、電子電器、汽車制造、半導體制造、包裝、印刷、涂覆、高分子材料、塑膠五金、醫療器械、滅菌等行業，目前已經成為中國最大的真空等離子體處理設備生產領域，產品面涉及極為廣泛，目前，在等離子表面處理設備多為普通彈夾處理真空箱室，極板結構單一，處理產品過多時效果很差。極板放電不均勻，容易出現燒板和處理不良現象。嚴重影響后續產品做工，造成成本上升，產品不良等現象。

發明內容

為了克服上述缺陷，本實用新型提供了一種彈夾式等離子真空處理箱體，來提高真空箱室內等離子體均勻性，改善極板電量均勻性。

本實用新型為了解決其技術問題所采用的技術方案是：一種彈夾式等離子真空處理箱體，包括真空箱體，真空箱體的前端安裝有固定框，真空箱體的上端接入電極饋入件，所述真空箱體設有用于安裝產品的彈夾料盒，以及用于放置兩個彈夾料盒的彈夾料盒放置結構，所述彈夾料盒放置結構由支撐座、絕緣滑道、極板、連接件、以及圓柱形電極組成，所述絕緣滑道設置在支撐座上，用于放置彈夾料盒，支撐座的兩側設有若干圓柱形電極，中間設置極板，所述極板和圓柱形電極的上端通過連接件與電極饋入件連接。

作為本實用新型的進一步改進，所述極板為孔狀極板。

作為本實用新型的進一步改進，所述圓柱形電極與連接件之間設有陶瓷絕緣件，且連接件與電極饋入件之間也設有絕緣件。

本實用新型的有益效果是：本實用彈夾式等離子真空處理箱體通過圓孔極板和柱狀電極柱混合使用，來提高真空箱室內等離子體均勻性；外部饋入式電極結構，有效的改善了極板電量均勻性，使真空箱室內等離子體分布更均勻，更具流通性，達到彈夾料盒內每層產品都能有效地處理到，提高處理效果和處理均勻性，避免了因燒板和處理不到而造成的經濟損失，從而減少生產成本。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖；

圖2為本實用新型結構的側視圖；

圖3為本實用新型彈夾料盒的結構示意圖；

圖中標示：1-真空箱體；2-固定框；3-電極饋入件；4-彈夾料盒；5-支撐座；6-絕緣滑道；7-極板；8-連接件；9-圓柱形電極；10-陶瓷絕緣件；11-絕緣件。

具體實施方式

為了加深對本實用新型的理解，下面將結合實施例和附圖對本實用新型作進一步詳述，該實施例僅用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型保護范圍的限定。

圖1-3示出了本實用新型一種彈夾式等離子真空處理箱體的一種實施方式,包括真空箱體1，真空箱體1的前端安裝有固定框2，真空箱體1的上端接入電極饋入件3，所述真空箱體1設有用于安裝產品的彈夾料盒4，以及用于放置兩個彈夾料盒4的彈夾料盒放置結構，所述彈夾料盒放置結構由支撐座5、絕緣滑道6、極板7、連接件8、以及圓柱形電極9組成，所述絕緣滑道6設置在支撐座5上，用于放置彈夾料盒4，支撐座5的兩側設有若干圓柱形電極9，中間設置極板7，所述極板7和圓柱形電極9的上端通過連接件8與電極饋入件3連接。

所述極板7為孔狀極板。

所述圓柱形電極9與連接件8之間設有陶瓷絕緣件10，且連接件8與電極饋入件3之間也設有絕緣件11。