[實用新型]一種適用于180°電子槍頭的定位校正裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721563140.5
• 申請日: 2017-11-21
• 公開（公告）號: CN207525326U
• 公開（公告）日: 2018-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫波;張昊;焦?jié)?/a>;付勇;李智超
• 申請（專利權(quán)）人: 利達光電股份有限公司
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30
• 代理公司: 鄭州紅元帥專利代理事務(wù)所(普通合伙) 41117
• 代理人: 秦舜生

本實用新型公開了一種適用于180°電子槍頭的定位校正裝置，包括一個桶狀的定位套，所述定位套內(nèi)壁與電子槍頭外周正好相貼合，所述定位套上方設(shè)置有一個水平儀，所述水平儀的方向與定位套垂直；所述定位套上與電子槍頭螺絲孔相對應(yīng)的位置設(shè)置有小孔，可以讓電子槍頭的固定螺絲從中穿過。本實用新型可以在將電子槍頭向底座安裝時對槍頭進行定位，輔助電子槍頭的安裝，避免出現(xiàn)角度偏差。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及電子槍領(lǐng)域，具體的說，是涉及一種適用于180°電子槍頭定位校正裝置。

背景技術(shù)

真空蒸發(fā)鍍膜是在真空條件下，用電子槍加熱坩堝里面的蒸發(fā)物質(zhì)使之汽化，蒸發(fā)粒子流直接射向基片并在基片上沉積形成固態(tài)薄膜的技術(shù)。蒸鍍是物理氣相沉積（PVD）技術(shù)中發(fā)展最早、應(yīng)用較為廣泛的鍍膜技術(shù)，盡管后來發(fā)展起來的濺射鍍和離子鍍在許多方面比蒸鍍優(yōu)越，但真空蒸發(fā)鍍膜技術(shù)仍有許多優(yōu)點，如設(shè)備與工藝相對比較簡單，即可沉積非常純凈的膜層，又可制備具有特定結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的膜層等，仍然是當(dāng)今非常重要的鍍膜技術(shù)。近年來，由于電子轟擊蒸發(fā)、高頻感應(yīng)蒸發(fā)以及激光蒸發(fā)等技術(shù)在蒸發(fā)鍍膜技術(shù)中的廣泛應(yīng)用，使這一技術(shù)更趨完善。

電子束蒸發(fā)是在真空蒸發(fā)鍍膜中常用的技術(shù)手段，電子槍是真空鍍膜設(shè)備中產(chǎn)生電子束的部件。加速電壓采用負高壓，陰極處于負電位，而陽極接地電位。陰極由交流供電加熱，使之發(fā)射電子，電子受陰極電位的影響，在陽極電壓加速下形成會聚的電子束。在水平方向磁場的作用下，電子束得到進一步聚焦并偏轉(zhuǎn)180°射入裝有被鍍膜料的坩堝中，其動能變成熱能使材料蒸發(fā)沉積于基片上，達到所需膜層的要求。

在180°電子槍的日常使用中，每過一段時間就需要對電子槍進行清潔，清潔的時候就需要對電子槍的槍頭和底座分拆，而清潔完之后，槍頭和底座進行組裝的時候，經(jīng)常會出現(xiàn)角度偏差，導(dǎo)致使用時出現(xiàn)光斑不良、燈絲不亮等情況，使電子槍無法正常工作。當(dāng)前，電子槍頭向底座安裝時，對槍頭定位及角度調(diào)試并沒有任何的輔助工具，因此導(dǎo)致每次調(diào)試校正花費的時間特別的長，嚴重影響工作效率。

實用新型內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺點，本實用新型提供一種適用于180°電子槍頭定位校正裝置，可以在將電子槍頭向底座安裝時對槍頭進行定位，輔助電子槍頭的安裝，避免出現(xiàn)角度偏差。

為達到上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是：一種適用于180°電子槍頭的定位校正裝置，包括一個桶狀的定位套，所述定位套內(nèi)壁與電子槍頭外周正好相貼合，所述定位套上方設(shè)置有一個水平儀，所述水平儀的方向與定位套垂直；所述定位套上與電子槍頭螺絲孔相對應(yīng)的位置設(shè)置有小孔，可以讓電子槍頭的固定螺絲從中穿過。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果為：將電子槍放入該定位套內(nèi)時，由于定位套內(nèi)壁與電子槍外周貼合，而定位套上方設(shè)置有水平儀，可以保證定位套垂直于水平方向，繼而使電子槍頭垂直于水平方向。在將電子槍頭裝在槍底座上時，將該定位裝置套在電子槍槍頭上，再將該裝置的位置調(diào)至其上方水平儀水平，再使用螺絲對電子槍槍頭進行固定，即可完成對電子槍槍頭的定位及安裝，避免出現(xiàn)角度偏差。

附圖說明

為了更清楚地說明本申請實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本申請中記載的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1所示為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2所示為本實用新型側(cè)視圖。

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行詳細的描述：