[實用新型]防氣體外溢的布氣覆層一體式結構

有效

• 申請號: 201721560780.0
• 申請日: 2017-11-21
• 公開（公告）號: CN207441734U
• 公開（公告）日: 2018-06-01
• 發明（設計）人: 徐衛華
• 申請（專利權）人: 徐州鑫宇光伏科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/67
• 代理公司: 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙) 32251
• 代理人: 陸金星

1.一種防氣體外溢的布氣覆層一體式結構，包括布氣裝置（100）和覆層槽（200），所述布氣裝置（100）包括至少一套布氣管（110），每套所述布氣管（110）設有若干出氣孔（101），所述覆層槽（200）設有至少一個開孔區域（210），每個所述開孔區域（210）設有若干通孔（201），所述布氣管（110）與所述開孔區域（210）一一對應設置，相互對應的布氣管（110）與開孔區域（210），前者的出氣孔（101）與后者的通孔（201）一一對應接通，其特征在于，相互對應的布氣管（110）與開孔區域（210）還固定連接在一起以使前者的出氣孔（101）端面與后者的通孔（201）端面緊密貼合。

2.根據權利要求1所述的防氣體外溢的布氣覆層一體式結構，其特征在于，每套所述布氣管（110）包括出氣管（111），所述出氣管（111）外周面沿其周向的至少一部分為平面，所述出氣孔（101）設于所述平面上。

3.根據權利要求2所述的防氣體外溢的布氣覆層一體式結構，其特征在于，所述出氣管（111）為矩形管。

4.根據權利要求1所述的防氣體外溢的布氣覆層一體式結構，其特征在于，相互對應的布氣管（110）與開孔區域（210）通過螺栓螺母組件（300）固定連接在一起。

5.根據權利要求4所述的防氣體外溢的布氣覆層一體式結構，其特征在于，所述螺栓螺母組件（300）避開所述出氣孔（101）和所述通孔（201）。

6.根據權利要求2所述的防氣體外溢的布氣覆層一體式結構，其特征在于，每套所述布氣管（110）還包括進氣管（112），所述進氣管（112）具有三個端口，其中一個端口與氣源連通，另外兩個端口與所述出氣管（111）連通。

7.根據權利要求6所述的防氣體外溢的布氣覆層一體式結構，其特征在于，所述進氣管（112）包括U形管（112a）和直管（112b），所述U形管（112a）的兩端口與所述出氣管（111）連通，所述直管（112b）的一端與所述U形管（112a）的底部連通，所述直管（112b）的另一端與所述氣源連通。

8.根據權利要求1所述的防氣體外溢的布氣覆層一體式結構，其特征在于，所述布氣裝置（100）固定連接于沉積腔上，所述覆層槽（200）固定連接于所述布氣裝置（100）上。

9.根據權利要求1所述的防氣體外溢的布氣覆層一體式結構，其特征在于，所述布氣裝置（100）包括三套所述布氣管（110），所述覆層槽（200）設有三個所述開孔區域（210），分別為所述覆層槽（200）的槽底和兩側槽壁。

10.根據權利要求9所述的防氣體外溢的布氣覆層一體式結構，其特征在于，每套所述布氣管（110）的若干出氣孔（101）沿所述覆層槽（200）槽長方向依次間隔距離設置，每個所述開孔區域（210）的若干通孔（201）沿所述覆層槽（200）槽長方向依次間隔距離設置。