[實用新型]一種新型的三維掃描的自旋濃度測量系統

有效

• 申請號: 201721532902.5
• 申請日: 2017-11-16
• 公開（公告）號: CN207379926U
• 公開（公告）日: 2018-05-18
• 發明（設計）人: 馬宗敏;魏久焱
• 申請（專利權）人: 中北大學
• 主分類號: G01N21/64
• 分類號: G01N21/64
• 代理公司: 太原科衛專利事務所(普通合伙) 14100
• 代理人: 朱源

1.一種新型的三維掃描的自旋濃度測量系統，其特征在于包括激光聚焦調節系統（1）、熒光采集系統（2）和金剛石位移臺（3）；

所述激光聚焦調節系統（1）包括聚焦壓電組（1-1）、激光器（1-2）、第一小孔（1-31）、第二小孔（1-32）、偏振片（1-4）、第一凸透鏡（1-51）、第二凸透鏡（1-52）和二色鏡（1-6）；激光器（1-2）發射的激光經過第一小孔（1-31）后再通過偏振片（1-4）出來偏振光，再經過第一凸透鏡（1-51）聚焦后經過第二小孔（1-32）后再由第二凸透鏡（1-52）聚焦后經二色鏡（1-6）反射，由聚焦壓電組（1-1）進行精準聚焦照射于金剛石上；

所述聚焦壓電組（1-1）包括間隔式組合壓電片組（1-1-1）、凸透鏡（1-1-2）、凸透鏡固定架（1-1-3）和外部固定架（1-1-4）；凸透鏡（1-1-2）安裝于凸透鏡固定架（1-1-3）的內部，凸透鏡固定架（1-1-3）與外部固定架（1-1-4）之間采用間隔式組合壓電片組（1-1-1）連接；間隔式組合壓電片組（1-1-1）包括扭動壓電組（1-1-1-1）和伸縮壓電組（1-1-1-2），扭動壓電組（1-1-1-1）和伸縮壓電組（1-1-1-2）中的壓電片間隔穿插排布；

所述熒光采集系統（2）包括光電探測器、數據采集卡和計算機，金剛石（3-1）激發產生的熒光經過聚焦壓電組（1-1）、二色鏡（1-6）被PD檢測到后經過數據采集卡將數據傳入計算機；

所述金剛石位移臺（3）包括金剛石（3-1）、載物臺（3-2）、摩擦板（3-3）和壓電驅動座（3-4），金剛石（3-1）固定于載物臺（3-2）上，載物臺（3-2）下方與摩擦板（3-3）固定連接，在摩擦板（3-3）的四個角點處分別安裝壓電驅動座（3-4）；壓電驅動座（3-4）包括間接驅動球（3-4-1）、扭擺壓電組（3-4-2）和底部固定座（3-4-3），底部固定座3-4-3呈五面體盒子狀，其內部五個面的中心安裝扭擺壓電組（3-4-2），扭擺壓電組（3-4-2）與間接驅動球（3-4-1）連接，間接驅動球（3-4-1）與位于其上方的摩擦板（3-3）接觸，并帶動摩擦板（3-3）進行移動。